20220720-国信证券-万业企业-600641.SH-旗下快速热处理设备中标上海积塔招标_半导体设备产品矩阵再扩展_7页_574kb

万业企业 (600641. SH) 总结

核心内容

万业企业（600641.SH）近期获得重要进展，旗下孙公司嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目中的4台快速热处理设备。该事件标志着国产半导体设备在关键领域进一步扩大市场份额，同时为公司“1+N”半导体设备产品平台矩阵的完善提供了有力支撑。

主要观点

• 中标事件意义：嘉芯闳扬中标上海积塔快速热处理设备，是国产半导体设备在关键工艺设备领域取得突破的重要信号，表明其产品已获得本土晶圆厂的认可。
• 产品平台拓展：嘉芯闳扬作为嘉芯半导体体系下的重要子公司，专注于刻蚀机和快速热处理设备的研发与生产，与凯世通的离子注入机形成“1+N”产品平台，有助于公司多元化发展。
• 市场前景广阔：快速热处理设备是晶圆前道制造的关键设备之一，2021年全球市场规模达11.6亿美元，应用材料占据74%的市场份额，屹唐旗下Mattson占11%。国产厂商的加入为市场带来竞争活力。
• 业绩增长预期：公司预计2022-2024年营业收入分别为14.6亿、21.6亿、28.8亿元，归母净利润分别为4.8亿、6.2亿、7.4亿元，未来三年业绩有望快速增长。
• 技术优势：快速热处理技术（RTP）在先进制程中发挥重要作用，具备高效率、高精度、低热预算等优势，是未来晶圆制造的关键方向。

关键信息

产品与技术

• 快速热处理设备：用于晶圆制造中的氧化、扩散、退火、合金等工艺，是前道制造的关键设备之一。
• 技术特点：RTP技术通过高强度灯直射晶圆表面，可在几秒甚至几毫秒内加热至1200℃以上，有效解决图形负载、热预算、漏电等问题。
• 嘉芯闳扬产品：公司已具备快速热处理设备的量产能力，并成功中标国内晶圆厂项目，显示出其产品的竞争力。

公司布局与平台

• 嘉芯半导体体系：2021年12月与张汝京博士合作成立，投资20亿元，覆盖刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、清洗机、尾气处理、机械手臂等设备。
• “1+N”平台：嘉芯闳扬与凯世通离子注入机共同构建“1+N”产品平台，增强公司在半导体设备领域的综合实力。

财务预测

估值指标

风险提示

• 下游晶圆制造产能扩充不及预期；
• 公司自身产能扩充不及预期；
• 新产品研发进度不及预期。

投资评级

• 股票投资评级：买入（维持评级）
• 行业投资评级：超配（若行业指数表现优于市场指数10%以上）

总结

万业企业通过旗下嘉芯闳扬中标快速热处理设备，进一步巩固了其在半导体设备领域的地位。公司正通过“1+N”产品平台布局，拓展在刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、清洗机等多个领域的生产能力。随着本土晶圆扩产周期的推进，公司有望持续受益，业绩增长可期。尽管面临一定的市场与技术风险，但整体投资前景良好，维持“买入”评级。