20220801-德邦证券-半导体设备中标专题（2022年7月）_晶圆厂扩产回升_万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀_沉积设备_12页_1mb

机械设备行业分析总结

核心内容

本报告分析了2022年7月中国大陆主要晶圆厂的设备招标情况，重点关注半导体设备国产化率及中标情况，并提出相关投资建议。

主要观点

• 设备招标量回升：2022年7月，中国大陆主流晶圆厂共开标76台工艺设备，较前几个月有所回升。前七个月累计开标624台设备，主要由华虹无锡（326台）和上海积塔（250台）贡献。
• 设备类型分布：7月主要开标设备为炉管（44台）、刻蚀（10台）、前道检测（9台）、沉积（8台）等；前七个月主要设备类型为炉管（163台）、沉积（105台）、刻蚀（92台）等。
• 国产设备占比提升：2022年7月中国大陆设备中标37台，国产率达48.68%；前七个月国产设备中标226台，占比36.2%。其中，干法去胶设备国产率最高（81%），刻蚀设备次之（59%），清洗设备（51%）、抛光设备（43%）等国产率也较高。
• 关键晶圆厂国产率：上海积塔在2022年1-7月设备国产率超60%，华虹无锡则以国外设备为主，国产率约为14.1%。
• 中标厂商表现：嘉芯迦能（万业企业子公司）、嘉芯闽扬（万业企业子公司）、屹唐等中国大陆厂商在7月中标较多，尤其在刻蚀、沉积、炉管等设备领域表现突出。

关键信息

1. 2022年7月主流晶圆厂开标情况

• 总开标设备：76台
• 主要扩产厂家：
  • 上海积塔：40台
  • 华虹无锡：35台
  • 福建晋华：1台
• 累计开标设备（1-7月）：624台
• 主要贡献厂家：
  • 华虹无锡：326台
  • 上海积塔：250台
  • 时代电气：16台
  • 福建晋华：24台
  • 华力集成：6台
  • 华力微电子：2台

2. 设备国产率分析

• 7月国产设备中标数量：37台，国产率48.68%
• 1-7月国产设备中标数量：226台，国产率36.2%
• 国产率较高的设备类型：
  • 干法去胶设备：81%
  • 刻蚀设备：59%
  • 清洗设备：51%
  • 抛光设备：43%
  • 涂胶显影设备：39%
  • 沉积设备：34%

3. 中标厂商表现

• 嘉芯迦能（万业企业子公司）：中标12台设备，包括沉积设备7台、刻蚀设备5台
• 嘉芯闽扬（万业企业子公司）：中标9台设备，包括刻蚀设备5台、炉管设备4台
• 宁波舜宇：中标4台前道检测设备
• 屹唐：中标4台炉管设备
• 上海芯斐：中标3台前道检测设备
• 华卓精科：中标2台炉管设备
• 芯源微：中标1台涂胶显影设备
• 无锡卓海：中标1台前道检测设备
• 东方晶源：中标1台前道检测设备

投资建议

• 重点关注企业：
  • 北方华创（002371）：国内半导体设备龙头
  • 中微公司（688012）：高端刻蚀设备龙头
  • 长川科技（300604）、华峰测控（688200）：持续突破高端后道测试机
  • 芯源微（688037）：涂胶显影与单片清洗突破前道环节
  • 拓荆科技（688072）：半导体薄膜沉积龙头
  • 华海清科（688120）：12寸CMP设备龙头
  • 盛美上海（688082）、至纯科技（603690）：国产清洗设备领军企业
  • 万业企业（600641）：离子注入机领先企业
  • 盛剑环境（603324）：半导体环保设备领先企业

风险提示

• 晶圆厂扩产不及预期
• 设备公司研发不及预期
• 中美贸易摩擦风险

数据来源

• 数据来源：中国国际招标网
• 分析单位：德邦研究所