20160926-中国银河-化工行业深度报告：关键电子化学品系列报告之电子特气：小荷才露尖尖角_37页_2mb

电子特气行业总结

核心内容

电子特气是半导体制造过程中的关键材料，被誉为半导体材料的“粮食”和“源”。它在微电子、光电子器件的生产过程中几乎每个环节都不可或缺，占IC材料总成本的 $5% - 6%$，对半导体器件性能有重要影响。电子气体纯度每提高一个数量级，可显著提升器件性能。

主要观点

• 电子特气的重要性：电子特气在半导体制造中起着关键作用，其纯度直接影响器件的质量和性能。
• 技术壁垒：电子特气行业存在三大技术壁垒，包括深度提纯技术、包装和储运技术以及分析检验技术。
• 国产化进程：部分产品如高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气等已实现国产化，高纯CL2、砷烷、锗烷等也即将突破。目前，8英寸晶圆厂的特种气体国产化率已达 $30%$ 以上。
• 市场格局：全球主要跨国气体公司在中国设有生产基地，国内高纯气体市场被外资企业垄断。但随着国产化率的提升，未来有望打破这一局面。
• 重点企业：南大光电和巨化股份是电子特气行业的重点上市公司，具备一定的生产能力和技术优势。

关键信息

• 电子特气分类：按气体特性分为一般气体和特殊气体，按用途可分为外延晶体生长气、掺杂气、刻蚀气、CVD气等。
• 气体纯度标准：分为普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体，纯度等级从3N到6N以上。
• 制造技术：包括气体分离、提纯、检测、混配、容器处理和充装等，其中提纯技术尤为关键。
• 主要电子气体：包括硅烷、砷烷、一氧化二氮、氨气、三氟化氮等，各有其独特的用途和纯度要求。
• 市场应用：电子特气广泛应用于半导体芯片、半导体照明、平板显示和太阳能电池等行业。
• 投资与政策支持：国家“02专项”推动了电子特气的研发和产业化，提升了国产化水平。
• 风险因素：包括电子产品需求增长低于预期、技术进步及进口替代进程低于预期等。

行业现状

• 国产化现状：部分产品已实现国产化，但整体仍依赖进口，尤其是高纯度产品。
• 技术发展：国内在高纯硅烷、磷烷、砷烷等特种气体的生产上取得了进展，但整体技术水平与国际先进水平仍存在差距。
• 企业规模：本土电子气体生产和供应商规模较小，无法为用户提供全方位服务，导致低价竞争和利润微薄。

市场前景

• 市场需求：随着半导体、LED、平板显示和太阳能电池等行业的快速发展，对电子特气的需求持续增长。
• 市场规模：2015年国内半导体电子特气市场规模已达到85亿元，其中应用于半导体的约占55.3亿元。
• 未来趋势：随着国产化率的提升，电子特气的市场价格有望下降，同时推动半导体行业的发展。

政策与建议

• 政策支持：国家通过“02专项”等措施支持电子特气的研发和产业化，推动国产化进程。
• 投资建议：建议关注具备高纯电子气体生产能力的公司，如南大光电和巨化股份。
• 技术改进：需加强提纯、包装、储运和检测技术，提升产品质量和市场竞争力。

总结

电子特气行业是半导体制造的重要组成部分，其纯度和质量直接影响器件性能。尽管国内在部分产品上实现了突破，但整体技术水平和市场占有率仍有待提高。随着国家政策的支持和市场需求的增长，电子特气行业将迎来更大的发展机遇。未来，随着国产化率的提升，电子特气市场将更加稳定，同时推动国内半导体产业链的全面发展。