电子特气行业深度报告：小荷才露尖尖角，电子特气国产化迎历史性机遇_67页_2mb

电子特气行业深度报告总结

核心内容

电子特气是半导体制造不可或缺的基础材料，被称为半导体材料的“粮食”和“源”，其成本占IC材料总成本的5%-6%。电子特气的纯度对半导体器件性能有决定性影响，纯度每提高一个数量级，都会带来性能的显著提升。目前，国内在部分电子特气产品上已实现突破，如高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等。

主要观点

• 电子特气行业技术壁垒高，主要包括深度提纯技术、包装储运技术及分析检验技术。
• 中国电子气体市场主要由外资企业主导，目前约85%的市场份额被外资占据，国产化进程仍需推进。
• 国内部分电子气体产品已实现国产化，但整体产能仍有限，且多数企业规模较小，利润空间有限。
• 国家政策支持对电子特气行业的快速发展起到关键作用，包括“02专项”和新材料产业政策等。
• 随着半导体产业的发展，电子特气市场需求持续增长，行业未来有望实现规模化发展。

关键信息

行业现状

• 2018年，中国电子特气市场规模达到121.56亿元，占半导体材料市场的14%。
• 国内电子特气的生产和供应商规模较小，主要依赖低价竞争，利润薄甚至亏损。
• 国内电子特气行业存在知识产权保护不足的问题，技术更新和研发能力较弱。

技术挑战

• 深度提纯技术难度大，如硅烷从4N提纯至6N需解决金属元素净化至10⁻⁹至10⁻¹²级别。
• 包装和储运技术落后，难以满足超高纯气体对容器和输送系统的要求。
• 分析检验技术发展滞后，无法满足对杂质含量的精确检测需求。

国产化进展

• 部分产品如高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气等已实现国产化，部分企业如南大光电、华特气体、和远气体等已具备一定产能。
• 南大光电已实现35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力，并计划扩产。
• 和远气体和华特气体近期完成上市，募投项目将显著提升工业气体产能。

投资建议

• 推荐标的包括和远气体、华特气体、雅克科技、昊华科技和南大光电。
• 雅克科技因半导体国产化和技术突破，营收有望持续增长。
• 昊华科技受益于5G和军工业务发展，前景良好。
• 南大光电专注于电子特气研发，产能扩大后发展潜力大。

风险分析

• 电子产品需求增长低于预期。
• 进口替代进程低于预期。

行业发展趋势

• 特种气体市场规模快速增长，预计到2022年将达到411亿元。
• 国产化是大势所趋，随着国家政策支持和市场需求增长，电子特气国产化将加速。
• 技术研发日益受到重视，部分企业已掌握国际标准的分析检测和提纯技术。
• 行业竞争将向综合服务能力转变，客户对供应商的要求越来越高，希望获得一站式服务。
• 分散零售市场逐步扩大，内资企业有机会通过该模式抢占市场份额。
• 尾气回收模式成为行业新趋势，提高资源利用效率，减少污染。

主要电子气体介绍

• 硅烷（SiH₄）：用于外延晶体生长，技术难度高，纯度要求高。
• 砷烷（AsH₃）：作为唯一的砷源材料，国内因剧毒难以生产，南大光电已实现国产化。
• 一氧化二氮（N₂O）：用于介质膜工艺，国内产能即将爆发，纯度要求5N以上。
• 氨气（NH₃）：用于氮化膜成膜，国内高纯氨技术仍需提升。
• 三氟化氮（NF₃）：作为气体清洗剂和刻蚀气体，国内已打破技术垄断。

国内主要企业

• 中船重工第七一八研究所：在高纯电子气体研发方面具有重要地位。
• 南大光电：专注于电子特气研发，已形成一定产能。
• 华特气体：中国特种气体国产化先行者，近期完成上市。
• 和远气体：华中地区最大气体供应商，募投项目提升产能。
• 雅克科技：转型后的半导体材料龙头，业绩有望持续增长。
• 昊华科技：含氟电子特气领导者，受益于5G和军工业务。

行业挑战与机遇

• 国内电子特气企业面临技术、资金、人才和资质等多重壁垒。
• 随着国家政策支持和市场需求增长，行业整合与技术提升将成为重要趋势。
• 未来5-10年内，中国有望形成1-2家大型、国际知名的电子气体企业。

总结

电子特气行业正处于国产化加速的关键阶段，技术进步和政策支持是推动其发展的主要动力。尽管存在诸多挑战，但随着国内企业技术突破和产能提升，行业前景广阔，具备良好的投资价值。