2017-关键电子化学品系列报告之湿电子化学品：而今迈步从头越（44页）银河证券_45页_2mb

湿电子化学品行业分析总结

核心内容

湿电子化学品是半导体和光电子制造中不可或缺的材料，主要应用于清洗和光刻蚀刻等关键工艺步骤，占集成电路制造成本的5%。其技术壁垒较高，目前中国企业在G2、G3级别产品上表现较好，部分产品如双氧水、氨水和硝酸已达到G4级别，但整体技术水平与国际先进水平仍有差距。

主要观点

• 湿电子化学品是半导体和平板显示制造的核心材料，对产品的性能、成品率和可靠性具有重要影响。
• 全球晶圆产能向中国转移，国家政策推动国产化，预计2018年中国12寸晶圆厂产能将占全球的22%，并推动国产材料市场占有率提升至50%以上。
• 国内湿电子化学品企业规模较小，研发投入有限，上市是解决瓶颈的关键，江化微、江苏晶瑞和江阴润玛正在IPO排队中。
• 湿电子化学品行业的发展受到半导体、平板显示和太阳能电池等下游产业的推动，市场需求持续增长。

关键信息

行业现状

• 湿电子化学品需满足超净和高纯要求，主要用于清洗和光刻蚀刻。
• 国内湿电子化学品主要以SEMI标准衡量，目前多为G2、G3级别，部分产品达到G4级别。
• 国内湿电子化学品市场国产化率低，尤其在8吋及以上晶圆厂中仅约10%。

技术与制造方法

• 常用提纯技术包括精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、升华、气体吸收、树脂交换、膜处理等。
• 超净高纯硫酸通常采用精馏法或三氧化硫气体吸收法，精馏法适用于小规模生产，气体吸收法适合大规模生产。
• 超净高纯过氧化氢采用减压蒸馏工艺，以减少分解。

应用领域

半导体行业

• 湿电子化学品用于清洗、蚀刻等工艺，主要为G3及以上级别产品。
• 主要沾污类型包括颗粒、金属、有机物和自然氧化层，对应的清洗试剂包括氨水、双氧水、氢氟酸等。
• 光刻工艺涉及多个步骤，湿电子化学品在其中起关键作用，如显影液、剥离液、蚀刻液等。

平板显示行业

• 主要使用G2、G3级别湿电子化学品，部分产品已实现国产化。
• TFT-LCD制程中涉及清洗、蚀刻、显影等步骤，所需化学品包括TMAH、氢氧化钾、氢氟酸等。
• 2014年国内平板显示湿电子化学品市场需求约为25万吨，预计到2018年将增长至30万吨以上。

太阳能电池行业

• 主要使用G1级别湿电子化学品，已基本实现国产化。
• 硅片清洗制绒、扩散制结、去磷硅玻璃等环节均需湿电子化学品，如氢氟酸、氢氧化钠等。
• 2014年国内太阳能电池领域湿电子化学品市场需求约为12万吨，预计到2018年将增长至15.4万吨。

标的首选企业

• 江化微：主攻高世代显示屏湿电子化学品，已小有所成。
• 苏州晶瑞：G4级双氧水，已进入中芯国际试样。
• 巨化股份：电子级硝酸已通过中芯国际认证。
• 兴发集团：依托高品位磷矿石，是全球最大的电子级磷酸提供商。
• 江阴润玛：在多个领域有湿电子化学品供应。

风险因素

• 国产化进程低于预期，可能影响行业发展。

市场增长与政策驱动

• 国内半导体产业持续增长，带动湿电子化学品需求。
• 国家政策支持国产化，推动材料市场占有率提升。
• 未来3年，中国12寸晶圆厂产能将大幅增加，为湿电子化学品行业带来发展机遇。

图表与数据

• 图1：湿电子化学品公司发展路径。
• 图2：湿电子化学品品种。
• 图3：精馏法生产超纯硫酸工艺流程图。
• 图4：过氧化氢减压精馏工艺流程图。
• 图5：集成电路光刻蚀刻工艺流程图。
• 图6：国内半导体集成电路产值规模及增速。
• 图7：2019年12吋晶圆厂产能。
• 图8：半导体中湿电子化学品需求。
• 图9：彩色滤光片的作用。
• 图10：TFT-LCD阵列制程工艺示意图。
• 图11：平板显示应用中主要的湿电子化学品。
• 图12：液晶面板出货量及增速。
• 图13：LCD产业链微笑曲线（毛利率情况）。
• 图14：液晶面板中湿电子化学品需求。
• 图15：太阳能电池中的湿电子化学品。
• 图16：太阳能电池中制绒原理图。
• 图17：2014年我国太阳电池行业湿电子化学品需求。
• 图18：2001年-2013年全球新增太阳能装机总量及增速。
• 图19：我国太阳能电池产业发展。
• 图20：太阳能电池中湿电子化学品需求。
• 图21：2014年世界湿电子化学品市场格局。

世界市场格局及主要厂商

• 欧美企业占据约35%市场份额，主要厂商包括巴斯夫、亚什兰、霍尼韦尔等。
• 日本企业占据约28%市场份额，主要厂商包括关东化学、三菱化学等。
• 中国台湾、韩国和中国大陆企业占据约32%市场份额，主要厂商包括联仕、东进世美肯等。

总结

湿电子化学品行业是半导体和光电子制造的重要组成部分，其发展受到全球晶圆产能转移、国家政策支持及下游产业增长的多重驱动。尽管国内企业在部分产品上已取得进展，但整体技术水平仍需提升。上市是推动行业发展的重要手段，国内企业如江化微、苏州晶瑞和江阴润玛正在通过IPO扩大规模，提高研发能力。随着12寸晶圆厂产能的增加，湿电子化学品市场需求将持续增长，为国内企业带来发展机遇。