电子特气行业深度报告：小荷才露尖尖角，电子特气国产化迎历史性机遇-20200228-光大证券-67页_2mb

电子特气行业深度报告总结

核心内容

电子特气是半导体制造过程中不可或缺的原材料，被称为半导体材料的“粮食”和“源”。其成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然占比不大，但对半导体器件性能有决定性影响。电子气体纯度每提高一个数量级，可极大推动半导体器件性能的飞跃。

主要观点

• 电子特气行业具有较高的技术壁垒，主要体现在深度提纯技术、包装储运技术及分析检验技术。
• 国内部分电子特气产品已实现国产化突破，如高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等。
• 目前，国产电子气体在技术和规模上仍存在短板，主要依赖进口，且国内企业多通过低价竞争，利润薄甚至亏损。
• 国家政策大力支持电子特气行业发展，推动其国产化进程，如“02专项”和新材料应用保险补偿机制。
• 未来，随着半导体产业链向国内转移，电子特气的市场需求将持续增长，国产化趋势明显。

关键信息

行业现状

• 2018年国内电子气体市场规模达121.56亿元，占半导体材料市场14%。
• 全球主要跨国气体公司在中国设有生产基地，国内85%的电子气体市场被外资企业垄断。
• 电子气体行业具有较高的集中度，技术、资金、资质和人才壁垒显著。

技术难点

• 深度提纯技术难度大，如硅烷从4N提纯到6N需解决杂质和金属元素净化问题。
• 包装和储运技术落后，缺乏高质量容器及输送系统，易导致二次污染。
• 分析检测技术落后，国内重视不足，影响产品纯度控制和质量稳定性。

国产化进展

• 高纯硅烷、氨、笑气、磷烷、砷烷等产品已实现国产化。
• 国产企业如和远气体、华特气体、南大光电等在技术上取得突破，部分产品达到6N级别。
• 国内企业通过募投项目提升产能，如和远气体、华特气体已上市，扩大生产规模。

投资建议

• 推荐关注和远气体、华特气体、雅克科技、昊华科技和南大光电。
• 和远气体和华特气体因募投项目提升产能，有望显著增长。
• 雅克科技因半导体国产化进程，营收有望持续走高。
• 昊华科技受益于5G和军工业务发展，前景广阔。
• 南大光电专注于电子特气研发，产能提升带来增长潜力。

风险分析

• 电子产品需求增长低于预期。
• 进口替代进程低于预期。

行业趋势

• 特种气体市场规模快速增长，预计到2022年将达411亿元。
• 国产化是大势所趋，国家政策和技术进步推动其发展。
• 技术研发日益受到重视，部分企业已掌握国际标准检测技术。
• 行业竞争将逐步向综合服务能力转变，客户希望获得全面服务。
• 分散零售市场逐步壮大，内资企业迎来发展机遇。
• 尾气回收模式将扩大，提升资源利用率。

市场应用

半导体芯片行业

• 电子气体用于外延沉积、刻蚀、掺杂等关键工艺环节。
• 外延沉积常用硅烷、氯硅烷等气体。
• 刻蚀主要使用氟基气体，如CF4、SF6等，近年改进为氯基和溴基气体。
• 掺杂气体如砷烷、磷烷等，用于制造PN结和导电类型。

其他行业应用

• 在半导体照明、平板显示、太阳能电池等行业，电子气体同样发挥关键作用。
• 电子气体在这些行业中的应用，推动了相关产业的发展。

未来展望

• 国内电子气体企业需整合资源，提升技术水平和市场竞争力。
• 国家政策支持、技术进步和市场需求增长将推动行业进一步发展。
• 未来5-10年内，有望形成一到两家具有国际竞争力的电子气体企业。

总结

电子特气行业是半导体制造的重要支撑，随着国产化进程的推进和技术壁垒的逐步突破，行业将迎来重要发展机遇。尽管目前仍面临技术、资金、资质和人才等多重挑战，但政策支持和市场需求增长将为行业提供强大驱动力，推动其向更高纯度、更广应用领域发展。