20200817-东吴证券-电子化学品系列报告之一_电子特气_未来已来_成长可期_42页_1mb

电子特气行业总结

核心内容概述

电子特气是半导体制造过程中不可或缺的电子化学品，被誉为“电子工业的血液”。其种类繁多，应用广泛，涵盖清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、外延等多个工艺环节，对半导体器件性能具有决定性影响。随着全球半导体产能向中国大陆转移，以及贸易摩擦推动国产替代进程，国内电子特气市场需求快速增长，预计未来将保持10%以上的复合年增长率。

主要观点

• 半导体产业转移带动需求增长：中国大陆成为全球最大的半导体市场，集成电路产业的快速发展对电子特气的需求显著增加。
• 国产替代进程加速：目前全球电子特气市场被五家跨国公司占据90%以上，而我国电子特气国产化率仅为15%左右，未来有望通过技术突破和产能扩张实现全面国产化。
• 行业竞争格局分散：国内电子特气企业尚未形成绝对龙头，但发展迅速，各具特色，部分企业已具备一定的市场竞争力。
• 重点品种国产化进展显著：如三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨等，已实现不同程度的国产化突破。

关键信息

市场规模与增长预测

• 2019年我国电子特气市场规模约140亿元，预计2024年将达到230亿元。
• 电子特气在晶圆制造成本中占比约14%，是仅次于硅片的第二大材料。
• 全球电子特气市场高度集中，主要由美国、法国、日本、德国等国家的公司主导。

国内主要企业及产能

重点特气品种分析

• 三氟化氮（NF3）：市场容量最大，国内产能已接近全球三分之一，预计2021年国内需求近1.6万吨，占全球约40%。
• 六氟化硫（SF6）：国内产能占比超50%，雅克科技（科美特）为行业龙头。
• 四氟化碳（CF4）：国内已实现部分进口替代，科美特和昊华科技为国内主要生产商。
• 六氟化钨（WF6）：国内产能集中于派瑞特气和昊华科技，预计2021年国内产能将达2300吨。
• 六氟乙烷（C2F6）：华特气体为国内龙头，产能达350吨/年。
• 八氟丙烷（C3F8）：国内产能较少，华特气体拟新增100吨/年。
• 八氟环丁烷（C4F8）：环保性能优异，国内需求增长迅速，华特气体和派瑞特气拟新增产能。
• 六氟丁二烯（C4F6）：环保优势显著，博瑞电子和派瑞特气拟新增产能。
• 羰基硫（COS）：国产化在即，太和气体和滁州梅塞尔已布局产能。
• 磷烷（PH3）、砷烷（AsH3）：国内南大光电和飞源气体已实现部分产能，未来有望进一步扩大。
• 乙硼烷（B2H6）：国内产能有限，太和气体和华特气体拟新增产能。

风险提示

• 技术突破的不确定性：部分高壁垒气体尚未实现国产化，技术突破速度将影响行业整体发展。
• 客户认证和突破风险：由于客户集中度高，认证周期长，国内企业进入市场面临挑战。
• 产能投建进度风险：部分企业扩产计划可能因各种原因延迟，影响市场供给。
• 新增产能难以消化风险：部分产品已实现国产化，但下游需求可能不足以消化新增产能，导致库存压力。

总结

电子特气行业受益于半导体产业向中国大陆转移及国产替代进程加速，市场前景广阔。国内企业通过技术突破和产能扩张，有望逐步取代国外企业，成为行业的重要参与者。尽管目前行业集中度不高，但部分企业已具备较强的市场竞争力，未来有望在该领域占据更大市场份额。