2017-电子化学品报告：电子特气：国产化迎历史机遇，提升纯度为关键_16页-2mb

电子化学品报告系列之：电子特气

核心内容

电子特气是半导体及相关电子产品制造过程中不可或缺的重要原材料，其种类繁多，应用广泛。目前，全球电子特气市场主要由跨国公司如空气化工、普莱克斯、林德集团、法国液空等占据，市场集中度高。随着我国半导体产业的快速发展，电子特气作为关键原料，其市场需求也在不断增长，国产化进程逐步加快。

主要观点

• 电子特气的重要性：电子特气在集成电路、LCD、LED和太阳能电池等制造环节中起着重要作用，其纯度直接影响产品的良率和性能。
• 应用领域广泛：电子特气被广泛应用于多个电子制造领域，包括集成电路制造、液晶显示器生产、LED照明和太阳能电池制造。
• 技术壁垒高：电子特气行业技术壁垒较高，纯度提升难度大，主要受到气体分离提纯、杂质检测和运输储存等环节的限制。
• 国产化进程加速：在政策支持和技术突破的双重推动下，我国电子特气行业正在逐步实现国产化，部分产品如硅烷、高纯氨、氢氟酸等已具备一定市场竞争力。
• 市场前景广阔：我国正承接第三次全球半导体产业转移，电子特气市场有望长期保持增长态势。

关键信息

电子特气的分类

电子特气在不同应用领域的使用

集成电路制造

• 硅片制造：HCl（氯化）、H2（还原）、Ar（维持惰性隔绝环境）。
• 氧化工艺：Cl2、HCl、三氯乙烷(TCA)、二氯乙烯(DCE)。
• CVD工艺：SiH4、SiHCl2、SiHCl4、SiCl4、TEOS、NH3、N2O、WF6、H2、O2、He。
• 刻蚀工艺：CF4、O2、氯气等。
• 离子注入：三价掺杂气体（如B2H6、BBr3、BF3）用于p型半导体掺杂；五价掺杂气体（如PH3、POCl3、AsH3、SbCl5）用于n型半导体掺杂。

LCD行业

• 前段阵列工序：氩气（溅射）、硅烷（SiH4）、氮气（NH3）、磷烷（PH3）、笑气（N2O）、NF3等用于成膜和刻蚀。
• 国内LCD产能增长：2016年国内LCD供给面积达到1.8亿平方米，预计2019年将增长至2.0亿平方米。

LED照明

• 外延片制造：H2、N2（载气）、6N以上高纯度的V族氢化物（如NH3、PH3、AsH3）用于反应气。
• 芯片制造：BCl3、Cl2等用于蚀刻环节。
• 国内LED渗透率提升：2016年国内LED照明产品渗透率达42%，预计未来将稳步增长。

太阳能电池

• 晶体硅电池片：POCl3、O2（扩散工序）、CF4（刻蚀工序）、SiH4、NH3（减反射层PECVD工序）。
• 薄膜太阳能电池片：DEZn、B2H6（LPCVD沉积TCO工序）、SiH4、PH3/H2、TMB/H2、CH4、NF3等（沉积工序）。
• 国内光伏装机容量：2016年全球新增光伏装机容量75.09GW，其中中国贡献34.54GW，占比46%。

国内电子特气市场现状

• 市场格局：目前我国电子特气市场主要由国外企业占据，占据约80%的市场份额。
• 国产化进展：部分国内企业如金宏气体、和远气体、侨源气体、黎明气体等已具备一定生产能力，国产化进程逐步加快。
• 纯度提升：国外电子特气纯度一般为6个“9”（99.9999%），而国内多在4—5个“9”之间，部分企业可达到6个“9”。

风险提示

1. 下游需求低迷；
2. 宏观经济低于预期；
3. 国产化进程不及预期。

投资评级说明

• 行业投资评级：

  • 买入：预期未来12个月内，股价表现强于大盘10%以上。
  • 持有：预期未来12个月内，股价相对大盘的变动幅度介于-10%～+10%。
  • 卖出：预期未来12个月内，股价表现弱于大盘10%以上。

• 公司投资评级：

  • 买入：预期未来12个月内，股价表现强于大盘15%以上。
  • 谨慎增持：预期未来12个月内，股价表现强于大盘5%～15%。
  • 持有：预期未来12个月内，股价相对大盘的变动幅度介于-5%～+5%。
  • 卖出：预期未来12个月内，股价表现弱于大盘5%以上。

联系信息

• 分析师：

  • 王剑雨：S0260511080001，联系方式：020-87574012，邮箱：wangjianyu@gf.com.cn
  • 郭敏：S0260514070001，联系方式：021-60750613，邮箱：gzguomin@gf.com.cn
  • 周航：S0260516080006，联系方式：020-87575171，邮箱：zhouhang@gf.com.cn

• 联系人：吴鑫然，联系方式：0755-88286915，邮箱：wuxr@gf.com.cn

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