20211019-光大证券-电子行业研究国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期（2021年10月）_中微公司干法刻蚀机台中标量上升_12页_2mb

行业研究总结：中微公司干法刻蚀机台中标量上升

核心内容概述

本报告为国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期（2021年10月），主要聚焦于2021年9月的国内半导体设备招标情况，特别关注中微公司干法刻蚀机台中标量上升的趋势，并对国内主要晶圆厂商及设备厂商的中标数据进行了分析。

主要观点

1. 中微公司干法刻蚀机台中标量显著增长

• 中微公司在2021年9月共中标10台干法刻蚀设备，显示其在干法刻蚀领域的市场份额和竞争力有所提升。
• 干法刻蚀设备是半导体制造中的关键设备，中微公司的中标量上升表明其在国内市场的认可度提高。

2. 国内晶圆厂商招标情况

• 招标设备种类覆盖广泛，包括薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测与计量设备、清洗设备、研磨设备、测试机、分选机、封装设备等。
• 长江存储在干法刻蚀设备上的招标量最高，共中标24台，显示其在存储芯片制造领域的高需求。
• 比亚迪半导体在后道封装设备上的招标量突出，共中标38台，表明其在封装环节的扩张计划。

3. 设备厂商中标表现

• 北方华创在多个设备类别中标，包括PVD、CVD、干法刻蚀、热处理设备，显示出其在半导体设备领域的全面布局。
• 芯源微在去胶和涂胶显影设备上中标较多，分别中标1台和5台，显示其在这些细分领域的优势。
• 华海清科在化学机械研磨设备上中标6台，在该领域表现突出。
• 屹唐半导体中标1台干法刻蚀和7台去胶，显示其在刻蚀和去胶环节的竞争力。

关键信息汇总

晶圆厂商招标数据

设备厂商中标数据

投资建议

• 建议关注的半导体设备投资标的：
  • 上市公司：北方华创、中微公司、华峰测控、芯源微、至纯科技、长川科技、华兴源创、盛美半导体、精测电子、万业企业（凯世通）、晶盛机电、光力科技、ASM Pacific。
  • 非上市公司：屹唐半导体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。

风险分析

• 国产化进度不及预期：若国产设备无法快速替代进口设备，将影响国内半导体产业链的发展。
• 晶圆厂扩张不及预期：若晶圆厂扩张放缓，可能导致设备需求下降。
• 技术研发不及预期：若技术突破不及预期，将影响设备性能和市场竞争力。

总结

2021年9月，国内半导体设备招投标数据表明，中微公司在干法刻蚀设备领域中标量显著上升，显示出其在该细分市场的竞争力。同时，长江存储、比亚迪半导体、华虹半导体等晶圆厂商在不同设备类别上表现出较高的需求，为设备厂商提供了良好的市场机会。整体来看，半导体设备行业在持续增长，但需关注国产化进度、晶圆厂扩张和技术研发等风险因素。