20220416-光大证券-国内半导体设备招投标月度数据跟踪第10期（2022年04月）_北方华创中标25台_盛美上海中标11台_华虹半导体招标141台_20页_4mb

行业研究总结

核心内容

本报告为2022年4月发布的《国内半导体设备招投标月度数据跟踪第10期》，主要分析了2022年3月国内半导体设备招投标数据及行业发展趋势。报告涵盖晶圆厂商的招标情况、设备厂商的中标数据、全球及中国大陆半导体设备市场景气度预测，以及对相关上市公司的投资建议。

主要观点

• 半导体设备行业景气度持续上升：2021年全球半导体设备销售额达到1030亿美元，同比增长44.4%；中国大陆销售额为288亿美元，同比增长53.7%。预计2022年中国大陆销售额将增长19.2%至343亿美元，2023年有望增长5.8%至363亿美元。
• 中国大陆半导体设备市场占比逐年提升：预计2021年中国大陆市场占比28%，2023年有望提升至32%。
• 晶圆厂扩张推动设备需求：国内主要晶圆厂如中芯国际、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、粤芯半导体等均在进行产能扩张，预计2022年资本开支将显著增加，带动设备采购需求。
• 国产替代加速：随着国产设备厂商在关键技术领域的突破，国内半导体设备市场正在经历从0-1到1-N的放量阶段，国产替代成为推动行业景气度的核心因素。
• 设备厂商表现突出：北方华创、盛美上海、华虹半导体等设备厂商在2022年3月中标数量较多，显示其在市场中的竞争力。

关键信息

国内晶圆厂商招标数据

• 华虹半导体：PVD+3台，CVD+24台，EPI+2台，ECP+3台，光刻机+1台，干法刻蚀+24台，湿法刻蚀+5台，前道检测+5台，前道计量+14台，干法清洗+2台，湿法清洗+15台，去胶+9台，刷片机+3台，CMP+4台，退火+8台，离子注入+11台，氧化扩散+2台，后道封装+6台。
• 上海积塔半导体：干法刻蚀+1台，湿法刻蚀+1台，涂胶显影+1台，氧化扩散+15台，探针台+7台。
• 华润微：湿法刻蚀+2台，湿法清洗+1台。
• 上海新微：PVD+1台。
• 上海新硅聚合：CMP+1台。
• 福建晋华：CVD+1台，前道计量+1台。
• 燕东微电子：湿法清洗+7台。

国内设备厂商中标数据

• 北方华创：PVD+4台，干法刻蚀+6台，湿法清洗+7台，退火+7台，氧化扩散+1台。
• 盛美半导体：ECP+1台，湿法清洗+5台，去胶+5台。
• 沈阳拓荆：CVD+3台。
• 上海微电子：退火+2台，缺陷检测显微镜+1台。
• 华海清科：CMP+3台。
• 中科信电子装备：离子注入机+1台。
• 中科飞测：前道检测+1台。
• 新益昌：粘片机+121台。

全球及中国大陆半导体设备市场数据

• 全球半导体设备销售额：
  • 2021年：1030亿美元（同比+44.4%）
  • 2022年预计：1140亿美元（同比+11.2%）
  • 2023年预计：1134亿美元（同比-0.8%）
• 中国大陆半导体设备销售额：
  • 2021年：288亿美元（同比+53.7%）
  • 2022年预计：343亿美元（同比+19.2%）
  • 2023年预计：363亿美元（同比+5.8%）

重点公司投资建议

• 半导体设备：北方华创、中微公司、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业（凯世通）、光力科技、华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific (H)。
• 半导体材料：神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。

风险分析

• 国产化进度不及预期：可能影响行业增长速度。
• 晶圆厂扩张不及预期：可能导致设备需求不足。
• 技术研发不及预期：可能影响设备性能及市场竞争力。

招标数据总览（2022年3月）

• 薄膜沉积设备：PVD+5台，CVD+25台，ALD+0台，EPI+2台，ECP+4台，MOCVD+0台。
• 光刻设备：光刻机+1台，248nm光刻机+0台，深紫外线光刻机+1台。
• 刻蚀设备：干法刻蚀+27台，湿法刻蚀+8台。
• 清洗设备：干法清洗+2台，湿法清洗+23台，去胶+9台，刷片机+3台。
• 化学机械研磨：化学机械研磨+4台，抛光机+0台。
• 退火及热处理设备：退火+8台，热处理+0台。
• 离子注入及氧化扩散设备：离子注入+11台，氧化扩散+2台。
• 后道设备：探针台+7台，后道封装+6台。

晶圆厂扩产计划

• 中芯国际：总扩产计划24万片/月，其中中芯绍兴由6万片/月扩产至9万片/月。
• 华虹半导体：计划扩产至8万片/月。
• 长江存储：一期10万片/月，二期20万片/月，总目标30万片/月。
• 合肥长鑫：2021年扩产至6万片/月，2022年有望达到12万片/月，总目标30万片/月。
• 粤芯半导体：一期二期总产能4万片/月，预计2025年达12万片/月。

投资建议与盈利预测

注：2021年为年报或快报，其余为Wind一致预测。