20220606-德邦证券-机械设备半导体设备中标专题（2022年5月）_10家晶圆厂开标79台工艺设备_刻蚀国产率维持高位_12页_1mb

机械设备行业分析总结

核心内容

本报告分析了2022年5月中国大陆主要晶圆厂的半导体设备招标情况，重点展示了设备国产化的趋势及主要中标企业。

主要观点

• 设备招标数量：2022年5月，国内主流晶圆厂共开标79台工艺设备，1-5月累计开标480台。
• 主要扩产厂家：上海积塔为2022年5月扩产主力，共开标54台设备；华虹无锡为1-5月主要扩产厂家，开标280台设备。
• 主要设备类型：沉积设备、前道检测设备、刻蚀设备为5月主要扩产设备；炉管设备、沉积设备、刻蚀设备为1-5月主要扩产设备。
• 设备国产率：2022年5月，中国大陆设备中标47台，国产率达59.49%；1-5月累计中标144台，国产率30.0%。
• 国产率较高的设备：干法去胶设备（76%）、刻蚀设备（49%）、抛光设备（45%）、清洗设备（40%）、离子注入机（37%）、涂胶显影设备（35%）等。
• 主要中标企业：北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等企业在5月中标较多，表现突出。

关键信息

招标情况

• 2022年5月：国内10家主流晶圆厂共开标79台设备，主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）等。
• 2022年1-5月：累计开标480台设备，主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）等。

设备分类与作用

国产率分析

• 2022年5月：中国大陆设备中标47台，国产率59.49%。
• 2022年1-5月：中国大陆设备中标144台，国产率30.0%。
• 分晶圆厂国产率：
  • 上海积塔：55.1%
  • 华虹无锡：14.6%
  • 福建晋华：40.0%
  • 合肥晶合：未统计
  • 武汉新芯：未统计
• 分设备国产率：
  • 干法去胶设备：76.47%
  • 刻蚀设备：48.65%
  • 抛光设备：45.00%
  • 清洗设备：40.00%
  • 离子注入机：36.84%
  • 涂胶显影设备：35.29%
  • 炉管设备：21.37%

主要中标企业

• 北方华创：中标10台，主要涉及沉积设备、刻蚀设备、清洗设备等。
• 拓荆科技：中标11台，主要涉及沉积设备。
• 华海清科：中标5台，主要涉及抛光设备。
• 上海微电子：中标4台，主要涉及前道检测设备。
• 江苏旭宇腾：中标多台设备，包括沉积设备、炉管设备等。

投资建议

• 重点关注企业：
  • 北方华创（002371）：国内半导体设备龙头。
  • 中微公司（688012）：高端刻蚀设备龙头。
  • 长川科技（300604）：持续突破高端后道测试机。
  • 华峰测控（688200）：高端后道测试机。
  • 芯源微（688037）：涂胶显影与单片清洗设备。
  • 拓荆科技（688072）：半导体薄膜沉积设备。
  • 盛美上海（688082）、至纯科技（603690）：国产清洗设备领军企业。
  • 万业企业（600641）：离子注入机领先企业。
  • 盛剑环境（603324）：半导体环保设备领先企业。

风险提示

• 晶圆厂扩产不及预期：可能影响设备需求。
• 设备公司研发不及预期：可能影响技术突破和市场竞争力。
• 中美贸易摩擦风险：可能对设备进口和国产替代造成影响。