深度报告-20210222-开源证券-芯源微-688037.SH-公司首次覆盖报告_涂胶显影唯一国产设备商_立足后道_拓展前道_21页_2mb

芯源微（688037.SH）详细总结

核心内容概述

芯源微是一家专注于半导体生产设备研发、生产、销售与服务的国家高新技术企业，成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建。公司主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，应用于晶圆制造的前后道工艺。公司是国内唯一具备涂胶显影设备生产能力的国产设备商，技术实力强劲，业务范围不断拓展，从传统的后道先进封装和LED芯片制造领域，逐步进入MEMS、化合物、功率器件及特种工艺等新兴领域，并向前道晶圆制造领域扩展。

主要观点

1. 行业前景广阔

• 涂胶显影设备：全球市场规模稳步增长，2018年全球后道市场规模为0.87亿美元，预计2023年达1.08亿美元；前道市场规模2018年为23.26亿美元，预计2023年达24.76亿美元。
• 清洗设备：作为使用频率最高的半导体设备之一，全球市场规模持续上升，2019年达32.8亿美元，预计2020年达36亿美元，2023年达23.1亿美元。清洗工艺随着制程进步而增加，未来需求将显著增长。

2. 市场格局与竞争优势

• 国际龙头东京电子长期垄断涂胶显影设备市场，2018年市占率达88%。
• 芯源微在后道和LED领域已实现国产化替代，技术比肩国际龙头，前道设备已进入验证和量产阶段，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储等。
• 清洗设备方面，芯源微部分性能已达到国际先进水平，但在整体技术实力和市场占有率方面仍与龙头厂商存在差距。

3. 技术研发与产品结构

• 公司高度重视自主研发，研发支出占营收比重逐年提升，2019年达16.5%。
• 主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，其中单片式湿法设备营收占比逐年上升，2019年占营收的44.8%。
• 公司拥有6项核心技术，已应用于LED、后道封装及前道制造领域。

4. 财务表现与盈利预测

• 公司盈利能力逐年提升，2019年归母净利润为0.29亿元，2020年Q3达0.45亿元。
• 2020-2022年预计归母净利润分别为0.53亿元、0.78亿元和1.12亿元。
• 当前股价对应PS倍数为25.6倍（2020）、15.0倍（2021）、9.8倍（2022），显示公司估值具有提升空间。
• 公司毛利率维持在45%以上，净利率逐年上升，2020年Q3达21.1%。

关键信息

1. 公司背景

• 成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建。
• 股权分散，无实际控制人，主要股东为国有资本背景，包括先进制造（17.1%）、中科院沈自所（12.5%）、科技产投（7.0%）、国科瑞祺（5.4%）等。
• 公司产品广泛应用于LED芯片制造、后道封装、MEMS、化合物半导体、功率器件及特种工艺等。

2. 涂胶显影设备

• 涂胶显影设备是光刻工序的重要组成部分，分为6英寸及以下单晶圆处理设备和8/12英寸单晶圆处理设备。
• 后道领域：公司已实现国产化替代，产品广泛应用于LED、先进封装等。
• 前道领域：公司已进入验证和量产阶段，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储等。

3. 单片湿法设备

• 公司主要生产清洗机、去胶机、湿法刻蚀机，其中清洗机是重点发展方向。
• 清洗设备技术要求高，目前主要由国外厂商垄断，如迪恩士、东京电子、Lam Research等。
• 公司清洗设备在部分指标上达到国际先进水平，但在整体技术实力和市场占有率上仍需提升。

4. 风险提示

• 行业景气度下滑风险。
• 公司工艺验证及市场开拓不及预期风险。
• 市场竞争加剧风险。

投资建议

• 公司作为国内涂胶显影设备龙头，具备稀缺性，给予一定估值溢价。
• 首次覆盖给予“买入”评级，预计2020-2022年归母净利润分别为0.53亿元、0.78亿元和1.12亿元。
• 当前股价对应PS倍数分别为25.6倍、15.0倍、9.8倍，估值具备提升空间。

财务预测摘要

图表目录

• 图1：公司成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建
• 图2：公司主要产品分涂胶显影设备和单片式湿法设备
• 图3：公司股权分散，无实际控制人
• 图4：公司营收稳步增长
• 图5：2020前三季度归母净利润大幅提升
• 图6：单片式湿法设备营收占比逐年上升
• 图7：公司营收主要来源于中国大陆地区
• 图8：公司毛利率维持稳定，净利率稳步提升
• 图9：公司综合毛利率水平处于可比公司前列
• 图10：公司期间费用保持稳定
• 图11：涂胶显影设备在前道工艺中是光刻环节的重要设备
• 图12：涂胶显影设备在后道工艺中主要应用封装技术的涂胶、显影等工序
• 图13：光刻工艺中的涂胶、烘烤及显影
• 图14：涂胶显影设备应用广泛
• 图15：LED芯片市场规模持续提升
• 图16：MicroLED将在2020年迎来爆发性增长
• 图17：全球后道涂胶显影设备销售2019年有所下滑后预计平稳增长
• 图18：全球前道涂胶显影设备销售额2019年有所回落后预计稳步增长
• 图19：东京电子垄断全球涂胶显影设备市场
• 图20：公司研发支出占营业收入比重逐年上升
• 图21：全球半导体清洗设备规模2015-2019年稳定上升
• 图22：全球前道单片式清洗设备规模预计稳定增长
• 图23：2019年全球清洗设备CR4约为98%
• 图24：晶圆制造良率随制程进步而下降
• 图25：清洗工艺次数随制程进步而增加

表格目录

• 表1：涂胶显影设备 In Line 是未来趋势
• 表2：公司重视自主研发技术并应用于批量生产
• 表3：公司前道领域有所突破，后道及 LED 领域技术成熟
• 表4：公司前道领域涂胶显影设备客户已陆续开始导入、验证及量产
• 表5：公司清洗设备部分指标已达国际先进水平
• 表6：芯源微清洗设备总体和龙头公司相比仍有一定差距
• 表7：公司具有稀缺性，给予一定估值溢价

总结

芯源微作为国内涂胶显影设备龙头，具备较强的技术实力和市场拓展能力，业务从后道封装和LED领域逐步向MEMS、化合物、功率器件等新兴领域拓展，并在前道制造领域取得突破。公司盈利能力逐年提升，毛利率稳定，净利率增长显著。随着半导体行业高景气及国产替代趋势的推进，公司未来增长可期，预计2020-2022年归母净利润分别为0.53亿元、0.78亿元和1.12亿元。公司当前估值具备提升空间，首次覆盖给予“买入”评级。