深度报告-20220920-光大证券-至纯科技-603690.SH-跟踪报告之六_中国半导体清洗设备巨头高速成长_气体等半导体服务业务空间广阔_26页_2mb

至纯科技（603690.SH）跟踪报告总结

核心内容概览

至纯科技是中国领先的半导体清洗设备供应商，主营业务涵盖半导体制程设备、工艺支持设备、高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。公司通过控股子公司至微科技在湿法清洗设备领域取得显著进展，并引入多家战略投资者以加速业务发展。

主要观点与关键信息

1. 公司业务与市场地位

• 主营业务：公司专注于半导体清洗设备、工艺支持设备及服务，覆盖湿法清洗、干法清洗、高纯气体系统、化学品供应、晶圆再生等。
• 湿法清洗设备：公司是国内唯一能够提供28nm节点全部湿法工艺的本土供应商，其湿法设备可应用于存储（DRAM、3D Flash）、先进逻辑产品、化合物半导体等。
• 支持设备与服务：公司已为多家一线晶圆制造企业（如中芯国际、华虹华力、长江存储等）提供高纯特气系统、化学品供应设备、研磨液供应等支持性设备及服务，形成行业领先优势。

2. 战略投资者引入

• 至微科技增资扩股：2021年10月，至微科技通过增资扩股引入战略投资者，包括大基金二期、混改基金、中芯聚源等，持股比例约22%。
• 公司持股比例：交易完成后，至纯科技仍持有至微科技约77.11%的股份，为控股股东。
• 增资金额：合计增资42,000万元，其中7,644万元计入注册资本，其余计入资本公积。

3. 财务表现

• 2022H1业绩：实现收入11.2亿元，扣非归母净利润0.97亿元，同比增长128%。
• 订单增长：2022年目标新增订单40亿元，其中湿法设备订单20亿元，2022H1新增订单23.62亿元，同比增长37%。
• 盈利能力：2022H1湿法设备实现收入4.66亿元，同比增长73%，毛利率达35.11%，同比增长11.21个百分点。

4. 业务增长潜力

• 湿法清洗设备：预计2022-2024年收入分别为13.1、18.7、24.9亿元，增速分别为38.24%、29.03%、25.42%。
• 工艺支持设备：预计2022-2024年收入分别为12.5、15.0、18.0亿元，增速分别为16%、20%、20%。
• 半导体服务：晶圆再生及部件清洗服务在合肥投产，是国内首条12英寸晶圆再生产线；半导体级大宗气体整厂供气服务已投入运行，预计长期服务客户。

5. 技术与产品优势

• 湿法清洗设备：覆盖8-12寸晶圆制造，采用先进的二流体清洗技术，可实现纳米级水颗粒清洗，提升清洗效率。
• 工艺支持设备：涵盖高纯特气设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备等，技术已达到ppb级不纯物控制水平，获得客户广泛认可。
• 清洗技术：包括溶液浸泡法、机械刷洗法、二流体清洗、超声波清洗、兆声波清洗、批式旋转喷淋法等，适用于不同制程节点。

6. 市场与行业前景

• 清洗设备市场：2018-2024年全球半导体清洗设备市场规模预计从34.17亿美元增长至31.93亿美元，年复合增长率较高。
• 湿法清洗市场：湿法清洗是主流清洗技术，占比达芯片制造清洗步骤的90%以上，随着制程节点进步，需求持续增长。
• 国产替代趋势：公司湿法清洗设备及高纯工艺系统逐步实现国产替代，打破国外厂商垄断，提升市场份额。

盈利预测与估值分析

投资建议

• 评级：维持“买入”评级。
• 当前价：41.18元。
• 估值分析：公司PE估值低于可比公司均值，体现出较高的投资价值。

风险提示

• 国产化进度不及预期：若国产替代进展缓慢，可能影响公司市场份额。
• 晶圆厂扩张不及预期：若晶圆厂投资放缓，将影响清洗设备需求。
• 技术研发不及预期：若公司未能持续投入研发，可能在技术竞争中落后。

结论

至纯科技凭借在湿法清洗设备和高纯工艺系统领域的领先技术与市场占有率，以及战略投资者的加入，正迎来业务快速增长期。公司已在国内28nm制程节点实现湿法设备全覆盖，并在支持设备、服务业务等方面展现出强劲增长潜力，未来三年业绩有望持续提升，估值合理，具备良好的投资前景。