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国产替代趋势下，半导体湿法清洗设备迎增长机遇

核心内容

本报告分析了公司在半导体湿法清洗设备领域的市场地位、技术实力、业务布局及未来发展前景。公司作为国内领先的高纯工艺系统及半导体设备制造商，受益于国产替代趋势和半导体产业扩张带来的增长机遇。

主要观点

• 高纯工艺系统是公司主要收入来源，2020年收入占比达61.79%，半导体设备收入占比持续提升。
• 半导体湿法清洗设备是公司重点发展的业务板块，2020年出货量超过30台，新增订单5.3亿元，同比增长211.8%。
• 光传感及光器件通过并购波汇科技进入新领域，成为公司新增长点。
• 国产替代趋势明显，随着外部技术封锁和国内半导体产业扩张，公司湿法清洗设备市场前景广阔。
• 政策支持为半导体设备行业提供有利环境，如税收优惠、设备进口减免等。
• 公司具备较强的研发能力和市场拓展能力，毛利率和净利率表现优于行业平均水平。

关键信息

公司基本面

• 2021年报告日股价为39.72元，12个月A股价格区间为28.0-60.91元。
• 总股本为318.53百万股，无限售A股占总股本的82%。
• 流通市值为98.07亿元，每股净资产为10.80元，PB为3.67倍。

主要股东

• 蒋渊持股22.26%，陆龙英持股5.16%，赵浩持股4.31%。

收入结构（2020年）

• 高纯工艺系统收入占比61.79%；
• 光传感及光器件收入占比22.52%；
• 半导体设备收入占比15.59%。

收入增长情况

• 2020年公司营收为139.706亿元，年增长率为41.63%；
• 2021年预计营收为182.794亿元，年增长率为30.84%；
• 2022年预计营收为229.59亿元，年增长率为25.60%；
• 2023年预计营收为275.718亿元，年增长率为20.09%。

盈利预测

• 2020年归母净利润为26.06亿元；
• 2021年预计归母净利润为28.332亿元，年增长率为8.72%；
• 2022年预计归母净利润为36.436亿元，年增长率为28.60%；
• 2023年预计归母净利润为43.154亿元，年增长率为18.44%。

毛利率与净利率

• 2020年公司毛利率为31.76%，净利率为18.66%；
• 2021Q1毛利率提升至41.55%，净利率达到31.23%。

研发投入

• 研发支出占收入比重持续上升，2021Q1提升至16.02%；
• 公司已申请专利447项，已授权专利252项，软件著作权114项。

订单增长

• 2020年新增订单金额5.3亿元，同比增长211.8%；
• 2017-2020年新增订单增速均在35%以上。

业务布局

高纯工艺系统

• 产品线丰富，涵盖气体、化学品、研磨液、前驱体介质、大宗气体、尾气处理、物料及水系统；
• 已切入中芯国际、华虹集团、长江存储、台积电、海力士等一线客户；
• 在集成电路、显示屏、光伏、生物制药、食品饮料等领域广泛应用。

半导体湿法清洗设备

• 能提供28nm节点的全部湿法工艺，14nm和7nm工艺预计2022年可验证；
• 主要客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等；
• 湿法设备出货量增长迅速，2020年出货量超过30台。

光传感及光器件

• 通过并购波汇科技，拓展至光电子材料及器件领域；
• 产品应用于5G、数据中心、工业、医疗等高新行业；
• 毛利率保持在50%以上。

国内市场与政策支持

• 中国大陆已成为全球最大的半导体设备市场，2020年销售额达187.2亿美元，占全球26.3%；
• 国家政策大力扶持半导体设备行业，如税收减免、设备进口豁免、产业基金支持等；
• 国产替代是行业趋势，尤其在设备领域，国内厂商实力不断提升。

竞争格局

• 全球半导体设备市场高度集中，美日荷企业占据主导地位；
• 清洗设备市场主要由日本迪恩士、东京电子、韩国SEMES等企业主导；
• 国内主要企业包括盛美股份、至纯科技、北方华创、芯源微等；
• 至纯科技清洗设备毛利率相对较低，但随着业务扩展，毛利率有望提升。

风险提示

1. 行业竞争加剧，新增订单不及预期；
2. 新产品拓展不及预期；
3. 下游需求不及预期。

估值与投资建议

• 当前股价对应PE分别为41x / 32x / 27x；
• 投资者可关注公司未来在半导体清洗设备领域的成长性；
• 未来6个月内维持“增持”评级。

附录

• 图1-42展示了公司发展历程、收入结构、毛利率走势、订单增长、股权结构等；
• 表1-表8提供了全球半导体设备厂商销售额排名、国内主要企业收入及毛利率比较、相关政策等数据支持。

总结

公司在高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备领域具有较强竞争力，受益于国产替代趋势和半导体行业扩张。通过并购拓展光电子业务，公司有望实现多点增长。未来随着技术进步和市场拓展，公司估值有望重构，投资价值显著。