深度报告-20220630-长城国瑞证券-至纯科技-603690.SH-湿法设备进入收获季_高纯工艺受益泛半导体_25页_1mb

至纯科技（603690.SH）研究报告总结

核心内容

至纯科技是一家专注于高纯工艺系统与半导体湿法设备的公司，致力于成为国内领先的半导体工艺装备和材料供应商。公司业务涵盖高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产与销售，产品广泛应用于半导体、生物医药、光伏、LED等领域。

主要观点

• 技术布局：公司深耕泛半导体清洁设备领域，多项业务板块不断取得技术突破，已能实现ppb级不纯物控制，成为国内该类设备的领先者。
• 营收增长：2021年公司实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%；扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%。
• 订单增长：2021年新增订单总额32.30亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%。2022年新增订单目标超过40亿元。
• 研发投入：2021年研发支出3.02亿元，同比增长101.33%，研发强度达到14.50%，显著高于行业平均水平，为公司长期竞争力奠定基础。
• 市场前景：半导体设备处于景气周期，全球市场规模预计2022年增长至1140亿美元。公司湿法设备业务已进入高速成长期，2021年湿法设备营收7.01亿元，同比增长221.56%，毛利率提升至32.48%。
• 投资建议：预计公司2022-2024年净利润分别为3.99/5.08/6.07亿元，对应P/E分别为25/20/16倍。维持“买入”评级。

关键信息

泛半导体设备市场

• 行业景气度：2021年全球半导体设备市场规模为1026亿美元，同比增长44%；预计2022年增长11%，达1140亿美元。
• 资本开支：全球半导体行业资本开支2021年约为1539亿美元，预计2022年将超过1904亿美元，同比增长24%。
• 设备投资占比：半导体设备投资占资本开支的70%-80%，其中清洗设备占比约6%。

清洗设备业务

• 市场规模：2020年全球半导体清洗设备市场规模为25.39亿美元，预计2024年增至31.93亿美元。
• 市场集中度：主要由日本DNS、TEL、Lam及韩国SEMES主导，合计占比约97.70%。
• 国内厂商：至纯科技、盛美上海、北方华创、芯源微等，其中至纯科技可生产8-12英寸高阶单片湿法清洗设备，2021年营收达7.01亿元，毛利率32.48%。

高纯工艺系统

• 应用领域：高纯工艺系统是半导体制造的核心支持系统，主要应用于集成电路、MEMS、平板显示、光伏、LED等领域。
• 市场规模：2022年应用于半导体领域的高纯工艺系统市场规模预计为640~1024亿元。
• 国内地位：至纯科技是本土高纯工艺系统行业代表厂商，2021年高纯工艺系统营收达8.71亿元，同比增长28.85%，毛利率34.71%。

业务板块

• 高纯工艺系统：2021年营收10.78亿元，占公司营收的主要部分，增速较快。
• 半导体湿法设备：2021年营收7.01亿元，同比增长221.56%，毛利率提升至32.48%。
• 医药行业：2021年营收2.07亿元，同比增长10.70%，增速稳定。

风险提示

1. 行业发展风险：泛半导体行业周期性波动及国际形势变化可能影响公司市场需求和毛利率。
2. 关键零部件依赖风险：部分关键零部件依赖海外供应商，存在贸易壁垒风险。
3. 市场竞争风险：国际领先企业具备先发优势，市场竞争加剧可能影响公司市场份额。

盈利预测

财务数据与业务进展

• 研发支出：2021年3.02亿元，同比增长101.33%，研发强度14.50%，较2020年提升3.74个百分点。
• 订单增长：2021年新增订单32.30亿元，其中半导体设备占比约34.7%；2022年新增订单目标超过40亿元。
• 产能提升：2021年公司湿法设备全年出机超过97台，12英寸湿法设备新增订单超过6亿元。
• 融资计划：公司拟发行不超过11亿元可转债，用于建设单片湿法工艺模块、北方半导体研发生产中心、半导体设备模组及零部件制造等项目。

总结

至纯科技在泛半导体设备领域布局深入，核心技术不断突破，订单和营收增长显著。公司通过高研发投入和产能提升，逐步成为国内领先的高纯工艺系统和湿法设备供应商，受益于半导体行业的高景气周期和国产替代趋势。尽管面临一定的行业风险，但公司具备较强的技术实力和市场竞争力，未来发展前景良好。