20220510-德邦证券-半导体设备中标专题（2022年4月）_晶圆厂扩产景气持续_设备国产率提升_12页_1mb

机械设备行业总结：2022年4月半导体设备中标情况及投资建议

核心内容概述

本报告分析了2022年4月国内主流晶圆厂的半导体设备招标情况，重点探讨了设备国产率的提升趋势，并给出了相关投资建议。

主要观点

• 2022年4月，国内主流晶圆厂共开标108台工艺设备，1-4月累计开标401台，显示出半导体设备行业持续景气。
• 上海积塔在4月设备招标中贡献最大，共开标78台设备，成为主要扩产厂家。
• 华虹无锡在1-4月累计开标268台设备，是设备招标的主要贡献者之一。
• 4月设备招标中，炉管、刻蚀设备是主要扩产设备，分别开标30台和29台。
• 1-4月设备中标国产率提升至24.2%，其中干法去胶设备国产率最高，达71%。
• 国产设备在刻蚀、清洗、干法去胶等环节表现尤为突出，显示出国内半导体设备企业的竞争力提升。

关键信息

招标情况

• 2022年4月：国内主流晶圆厂共开标108台设备，其中上海积塔78台，华虹无锡20台，福建晋华5台，时代电气3台，华力微电子1台，华力集成1台。
• 2022年1-4月：累计开标401台设备，主要来自华虹无锡（268台）、上海积塔（104台）、时代电气（14台）、福建晋华（12台）、华力集成（2台）、华力微电子（1台）。

设备分类

国产率分析

• 2022年4月：中国大陆设备中标数量为67台，国产率达62%。
• 2022年1-4月：中国大陆设备中标数量为97台，国产率达24.2%。
• 国产率较高的设备环节包括：
  • 干法去胶设备：71%
  • 刻蚀设备：51%
  • 清洗设备：41%
  • 离子注入机：39%
  • 抛光设备：27%
  • 涂胶显影设备：21%

中标企业

• 北方华创：中标33台设备，主要涉及炉管设备和刻蚀设备。
• 中微公司：中标13台设备，集中在刻蚀设备。
• 屹唐半导体：中标10台设备，包括干法去胶机和热退火设备。
• 芯源微：中标7台设备，涉及清洗和涂胶显影设备。
• 上海精测：中标1台前道检测设备。
• 盛美上海：中标1台湿法清洗设备。

投资建议

• 重点关注：国内半导体设备龙头北方华创（002371）。
• 高端刻蚀设备：中微公司（688012）。
• 后道测试设备：长川科技（300604）、华峰测控（688200）。
• 涂胶显影与清洗设备：芯源微（688037）。
• 薄膜沉积设备：拓荆科技（688072）。
• 清洗设备：盛美上海（688082）、至纯科技（603690）。
• 离子注入机：万业企业（600641）。
• 环保设备：盛剑环境（603324）。

风险提示

• 晶圆厂扩产不及预期。
• 设备公司研发不及预期。
• 中美贸易摩擦风险。

信息披露

• 分析师：倪正洋，德邦证券机械行业首席分析师，拥有5年机械研究经验，1年高端装备产业经验。
• 研究助理：杨云道，协助完成报告内容。
• 声明：报告数据来源于市场公开信息，分析师不保证其准确性，分析逻辑基于个人理解，结论独立、客观。

投资评级说明

• 股票投资评级：

  • 买入：相对强于市场表现20%以上；
  • 增持：相对强于市场表现5%~20%；
  • 中性：相对市场表现在-5%~+5%之间波动；
  • 减持：相对弱于市场表现5%以下。

• 行业投资评级：

  • 优于大市：预期行业整体回报高于基准指数整体水平10%以上；
  • 中性：预期行业整体回报介于基准指数整体水平-10%与10%之间；
  • 弱于大市：预期行业整体回报低于基准指数整体水平10%以下。

法律声明

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