20220703-德邦证券-半导体设备中标专题（2022年6月）_设备国产率持续提升_12页_1mb

机械设备行业分析总结

核心内容概述

本报告聚焦于2022年6月中国大陆主流晶圆厂的半导体设备开标情况，分析设备采购趋势及国产化率变化，同时提出相关投资建议和风险提示。整体来看，国内半导体设备国产化进程加速，尤其在刻蚀、干法去胶、清洗等环节表现突出。

主要观点

• 市场表现：2022年6月，中国大陆主流晶圆厂共开标68台工艺设备，环比略有下降，但整体设备采购仍保持增长态势。
• 设备类型分布：6月主要开标设备为干法去胶机、清洗设备和后道测试设备，分别占14台、13台和11台，显示出这些环节在晶圆厂扩产中的重要性。
• 国产率提升：2022年6月，中国大陆设备中标数量为44台，国产率达64.7%；2022年1-6月，国产设备中标数量达189台，占比为34.5%，表明国产设备在半导体制造中的渗透率持续提升。
• 晶圆厂贡献差异：上海积塔和华虹无锡是主要扩产厂家，其中上海积塔在2022年6月开标52台设备，1-6月累计开标210台设备，国产率超50%。
• 设备国产化趋势：干法去胶设备国产率最高，达81%；刻蚀设备国产率54%；清洗设备国产率58%；抛光设备国产率43%；涂胶显影设备国产率35.3%。国产设备在多个关键环节表现强劲。

关键信息

一、设备开标情况

• 2022年6月：共开标68台设备，主要来自上海积塔（52台）、华虹无锡（11台）、福建晋华（3台）、华力集成（1台）。
• 2022年1-6月：共开标548台设备，主要来自华虹无锡（291台）、上海积塔（210台）、时代电气（16台）、福建晋华（23台）、华力集成（6台）、华力微电子（2台）。
• 设备类型分布：
  • 2022年6月：干法去胶机（14台）、清洗设备（13台）、后道测试设备（11台）、离子注入机（9台）、沉积设备（8台）、刻蚀设备（8台）。
  • 2022年1-6月：炉管设备（119台）、沉积设备（97台）、刻蚀设备（82台）、前道检测设备（64台）、后道测试设备（46台）、清洗设备（33台）。

二、国产设备中标情况

• 2022年6月：中国大陆设备中标44台，国产率64.7%，主要由稷以科技、捷佳伟创、中微公司等企业贡献。
• 2022年1-6月：中国大陆设备中标189台，国产率34.5%，其中上海积塔和华虹无锡为国产设备中标主力。
• 国产率分项：
  • 干法去胶设备：国产率81%
  • 刻蚀设备：国产率54%
  • 清洗设备：国产率58%
  • 抛光设备：国产率43%
  • 涂胶显影设备：国产率35.3%

三、重点推荐公司

• 北方华创：国内半导体设备龙头，重点关注。
• 中微公司：高端刻蚀设备龙头。
• 长川科技、华峰测控：持续突破高端后道测试机。
• 芯源微：涂胶显影与单片清洗环节的国内小巨人。
• 拓荆科技：半导体薄膜沉积龙头。
• 盛美半导体、至纯科技：国产清洗设备领军企业。
• 万业企业：离子注入机领先企业。
• 盛剑环境：半导体环保设备领先企业。

投资建议

• 重点关注国产设备厂商在刻蚀、干法去胶、清洗等环节的市场份额增长。
• 建议关注具备技术突破和市场拓展能力的龙头企业，如北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技等。
• 同时关注后道测试、沉积、抛光等环节的国产替代机会。

风险提示

• 晶圆厂扩产不及预期。
• 设备公司研发进度不及预期。
• 中美贸易摩擦可能对设备进口和国产替代进程产生影响。

数据来源与统计方法

• 数据来源：中国国际招标网。
• 统计范围：覆盖长江存储、华力微电子、华力集成、华虹无锡、中芯绍兴、上海积塔、中车时代、福建晋华、合肥晶合、武汉新芯等10家主要IDM或代工企业。
• 设备分类：分为制程核心设备、良率提升设备、辅助设备等，排除二手翻新设备影响。
• 国产率计算：以设备中标台数为基准，不考虑设备价值量差异。