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专注ALD技术，光伏和半导体双向高成长

核心内容

微导纳米是一家专注于ALD（原子层沉积）技术的设备公司，主要应用于光伏和泛半导体领域。公司成立于2015年，2022年12月在科创板上市，是国内首家将ALD技术规模化应用于光伏领域和首家将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司。公司通过技术积累和产品拓展，在光伏和半导体领域均取得显著进展。

主要观点

ALD技术领军企业，聚焦光伏与半导体

• 公司专注于ALD技术，已实现ALD设备在光伏和半导体领域的产业化应用。
• 2021年和2022年前三季度，公司营收分别为4.28亿元和3.85亿元，但归母净利润出现波动，2022年前三季度亏损。
• 截至2022年9月末，公司已取得在手订单19.75亿元，其中ALD设备占比85.66%，毛利率较高。

光伏：立足ALD，新型电池技术全面布局

• PERC电池：公司ALD设备镀膜速率突破10,000片/小时，打破产能瓶颈，市占率从2018年的41.16%提升至2019年的48.41%。
• TOPCon电池：ALD设备在TOPCon正面氧化铝工艺中表现优异，具备超薄、高深宽比和高均匀性的优势，PEALD二合一平台设备集成PEALD和PECVD工艺，用于隧穿层和多晶硅层制备，受益于TOPCon扩产。
• IBC电池：ALD设备在钝化层制备中具有重要地位，需求量更高，受益于IBC路线扩产。
• HJT电池：公司PECVD技术可用于本征非晶硅层沉积，ALD设备则用于TCO层沉积，HJT电池具备高效率、低衰减、双面率高等优势。
• 钙钛矿电池：ALD技术在钙钛矿电池中可应用于TCO、缓冲层和封装层，公司已进行技术储备。

半导体：ALD技术中的国产替代先行者

• 随着国产替代进程加快，公司作为ALD技术领先者，有望受益于半导体设备市场增长。
• 公司在28nm制程中实现High-k材料沉积技术突破，产品应用于逻辑芯片、先进存储（如3DNAND、FeRAM）和新型显示（如OLED、MiniLED）等领域。
• 公司半导体设备毛利率较高，2022年上半年ALD设备毛利率超过50%，预计随着产能提升，毛利率将逐步改善。

关键信息

财务数据

• 收盘价：31.20元
• 总股本：454.46百万股
• 流通股本：37.59百万股
• 流通股比例：8.27%
• 总市值：141.79亿元
• 流通市值：11.73亿元

盈利预测与估值

• 2022-2024年营业收入：6.02亿元、16.68亿元、22.15亿元
• 2022-2024年归母净利润：0.31亿元、1.26亿元、2.59亿元
• 2021-2024年归母净利润CAGR：78%
• 2022-2024年摊薄EPS：0.07元、0.28元、0.57元
• 2022-2024年PE倍数：463倍、113倍、55倍

市场空间预测

• 2022/2023/2024年国产ALD设备市场规模：5.21亿元、6.26亿元、9.59亿元
• 年增长率：37.42%、20.15%、53.38%

风险提示

1. 光伏及半导体行业后续扩产不及预期。
2. 技术迭代带来的创新风险。
3. 国内市场竞争加剧。
4. 核心技术人员流失或不足。
5. 测算市场空间的误差风险。
6. 研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况。

技术与市场优势

• ALD技术具备三维共形性、大面积成膜均匀性、致密无针孔、亚纳米级厚度控制等优势。
• 公司产品覆盖光伏与半导体多个细分领域，包括PERC、TOPCon、IBC、HJT、钙钛矿等。
• 在ALD设备市场中，公司市占率位居国内第一，全球处于第一梯队。

投资建议

• 首次覆盖给予“增持”评级，认为公司在ALD技术领域具有领先优势，且在光伏和半导体领域的拓展具备较大业绩弹性。
• 随着规模效应显现，公司毛利率和净利润有望回升，投资价值显著。

未来展望

• 随着光伏和半导体行业技术升级与产能扩张，公司ALD设备需求将持续增长。
• 公司技术储备丰富，未来有望在更多领域实现突破，提升市场占有率。

产业化与技术突破

• 公司在光伏和半导体领域已实现产业化应用，部分设备处于产业化验证阶段。
• 技术研发持续投入，公司具备较强的研发能力和技术储备，为未来增长奠定基础。