深度报告-20230216-浙商证券-微导纳米-688147.SH-微导纳米深度报告_中国ALD设备龙头_半导体光伏两翼齐飞_46页_6mb

微导纳米深度报告总结

核心内容

微导纳米是一家专注于原子层沉积（ALD）技术的中国设备制造商，其产品覆盖半导体、光伏、柔性电子三大领域。公司是国内首家将High-k ALD设备应用于28nm集成电路量产线的国产设备公司，并在光伏领域实现ALD技术的首创应用，覆盖PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等电池技术路线。随着半导体和光伏行业的快速发展，公司收入和订单持续增长，2018-2021年营收年复合增长率达117%。

主要观点

• 技术优势：公司以ALD技术为核心，具备良好的三维共形性、均匀性和精确的亚纳米级膜厚控制，能够满足芯片微缩、结构复杂化对薄膜沉积工艺的高要求。
• 市场空间广阔：半导体ALD设备市场预计2024年我国市场规模将超百亿元，全球ALD设备市场年复合增长率达26.3%。光伏行业技术迭代带来新机遇，TOPCon、xBC、钙钛矿等高效电池技术逐步产业化，公司设备在这些领域具有显著优势。
• 业务增长强劲：公司营收增长迅速，2022年前三季度营收达3.85亿元，同比增长66.8%。在手订单达19.75亿元，其中专用设备订单占比高达94.2%，显示公司订单充足。
• 研发投入高：公司高度重视研发，2022年前三季度研发费用占比达24%，研发费用率逐年提升，助力技术平台化发展。
• 募投项目：公司拟通过10亿元募集资金建设光伏及柔性电子ALD设备产能120台/年，半导体ALD设备产能40台/年，同时设立集成电路高端装备产业化应用中心，以支持业务持续增长。

关键信息

财务表现

• 营业收入：2022-2024年预计分别为6.72亿元、14.07亿元、23.62亿元，复合增长率达87%。
• 归母净利润：预计分别为0.56亿元、1.65亿元、2.50亿元，复合增长率达112%。
• 每股收益：预计2022-2024年分别为0.12元、0.36元、0.55元。
• 市盈率（PE）：预计2022-2024年分别为289.9、97.4、64.5。
• 市销率（PS）：预计2022-2024年分别为24.0、11.4、6.8。

技术应用

• ALD技术特点：具备自限制生长特性，可实现精确的亚纳米级膜厚控制，适用于复杂结构的薄膜沉积。
• 应用领域：ALD技术已广泛应用于半导体（逻辑芯片、存储芯片、MEMS等）、光伏（PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等）、柔性电子（OLED等）等领域。
• 市场增长：预计2020-2025年全球ALD设备市场规模年复合增长率达26.3%，2024年我国ALD设备市场规模将超百亿。

业务拓展

• 光伏设备：公司光伏设备贡献主要营收，2018-2022H1收入占比分别为93%、94%、96%、64%、92%。TOPCon整线设备订单放量在即，2022年1-6月在TOPCon和背接触电池产线中，公司ALD设备中标占比达75%。
• 半导体设备：公司是国内首家将ALD设备应用于28nm集成电路量产线的国产设备公司，半导体设备已实现营收突破，2021年、2022H1收入占比分别为6%、3%。
• 柔性电子设备：公司FlexGuard系列卷对卷ALD设备已实现产业化应用，主要用于OLED等柔性电子材料的真空镀膜。

客户与市场

• 客户集中度：公司客户集中度较高，通威为近三年第一大客户，2019-2021年通威太阳能为公司第一大客户，占比分别为21%、63%、28%。
• 市场拓展：公司积极拓展半导体和柔性电子领域客户，2022年6月已签署TOPCon等相关新型高效电池订单近50GW。

风险提示

• 市场竞争加剧：随着ALD技术在更多领域的应用，国内市场竞争可能加剧。
• 技术迭代风险：ALD技术可能面临新的技术迭代，公司需持续研发以保持技术领先。
• 新产品验证：新产品验证进度及市场发展可能不及预期。
• 美国半导体管制：美国半导体管制可能影响公司设备在海外市场的拓展。

投资建议

• 评级：首次覆盖，给予“增持”评级。
• 催化因素：光伏行业扩产、半导体设备导入客户验证、新产品研发等均可能推动股价上涨。

未来展望

微导纳米在ALD技术上具有显著优势，其在半导体和光伏领域的应用不断拓展，未来有望受益于技术迭代和行业增长。随着募投项目的实施，公司产能将大幅提升，进一步支撑订单增长和业绩提升。长期来看，公司有望在更多领域实现ALD技术的应用，推动业务多元化发展。