20180715-广发证券-机械设备行业周报_半导体清洗领域_国产设备商进展积极_14页_998kb

机械设备行业周报总结

核心内容

本周报聚焦于半导体清洗设备行业的发展趋势及国内设备商的进展，同时对机械设备行业的整体市场表现、行业动态与投资建议进行了分析。报告指出，随着半导体工艺节点的缩小，清洗工艺的重要性日益凸显，清洗设备的需求持续增长，国产设备商在这一领域取得积极进展，有望受益于晶圆厂投资红利。

主要观点

1. 清洗工艺在半导体制造中的关键作用
   清洗设备贯穿半导体制造的各个工艺环节，包括单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等，对提高制造良率和芯片性能至关重要。随着工艺节点的缩小，清洗设备的精度和效率要求大幅提升。

2. 清洗技术分类

   • 湿法清洗：目前占清洗步骤的90%以上，采用化学溶剂喷雾、浸泡等方式，结合超声波、加热、真空等辅助技术。
   • 干法清洗：不依赖化学试剂，包括等离子体清洗、气相清洗、束流清洗等，适用于特定环节。

3. 清洗设备类型与应用
   主要清洗设备包括：

   • 单晶圆清洗设备：适用于高精度清洗，如扩散前清洗、栅极氧化前清洗等，是45nm以下工艺节点的关键设备。
   • 自动清洗台：适合大批量生产，但清洗精度较低，存在交叉污染风险。
   • 洗刷台：结合旋转喷淋和机械擦拭，适用于锯晶圆、抛光、CVD等环节。
   • 超声波清洗设备：适用于半导体前道各阶段。
   • 晶圆盒清洗设备：专门用于晶圆盒的清洗。

4. 市场趋势与设备需求增长

   • 随着工艺节点的缩小，清洗步骤数量显著增加，清洗设备市场需求随之提升。
   • 清洗设备在2020年预计达到105亿元的市场规模，2018-2022年累计市场空间为424亿元。
   • 单晶圆清洗设备将成为国内市场的主流。

5. 国产设备商进展积极

   • 盛美半导体、北方华创、至纯科技等企业在清洗设备领域取得显著进展。
   • 盛美半导体通过SAPS和TEBO技术提升清洗效率与精度，已进入SK海力士及多家国内晶圆厂。
   • 北方华创依托自主研发和并购Akrion Systems LLC，形成多样化产品组合，覆盖多个制程环节。
   • 至纯科技深耕高纯工艺系统，其清洗设备已获得批量订单，应用于多个半导体制造环节。

6. 行业动态与市场表现

   • 2018年6月，沪深300指数上涨3.79%，创业板指数上涨5.01%，机械设备板块上涨2.47%。
   • 挖掘机销量和开机小时数同比上升，但小松开机小时数略有下滑。
   • 北美石油钻机活跃数量略有减少，显示市场可能面临一定压力。

7. 投资建议

   • 推荐关注具备全球竞争力和拓展空间的装备制造产业集群，以及为制造业技改升级提供关键装备的企业。
   • 推荐股票包括：三一重工、艾迪精密、恒立液压、拓斯达、埃斯顿、精测电子、晶盛机电、龙马环卫、巨星科技、华测检测、弘亚数控、浙江鼎力等。
   • 建议积极关注装备制造细分领域的龙头企业，如杰瑞股份、海油工程、通源石油、克来机电、杰克股份、中国中车、中集集团、先导智能、柳工、徐工机械等。

关键信息

• 工艺节点缩小：推动清洗设备需求提升，尤其对单晶圆清洗设备。
• 清洗设备市场空间：预计2020年达105亿元，2018-2022年累计达424亿元。
• 国产设备商：盛美半导体、北方华创、至纯科技等在清洗设备领域取得显著进展，产品已进入多家晶圆厂。
• 市场表现：机械设备板块整体呈上升趋势，市场对相关设备需求旺盛。
• 风险提示：宏观经济波动、原材料价格上涨、汇率变化、去产能进度不及预期等可能对行业造成影响。

行业评级与投资建议

• 行业评级：买入
• 投资建议：关注具备全球竞争力和拓展空间的装备制造产业集群，以及为制造业技改升级提供关键装备的企业。

风险提示

• 宏观经济变化：可能影响机械产品需求。
• 原材料价格上升：可能压制企业盈利能力。
• 汇率波动：影响企业盈利。
• 去产能进度不及预期：对行业造成不利影响。

分析师信息

• 罗立波：首席分析师，清华大学理学学士和博士，6年证券从业经历。
• 周静：分析师，上海财经大学会计学硕士，2017年加入广发证券发展研究中心。

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