20260424-东吴证券-中科仪-920186.BJ-半导体干式真空泵国产替代龙头_募投产能释放与技术迭代共驱成长_22页_2mb

报告摘要

中科仪（920186）总结

核心内容

中科仪是中国科学院下属企业，专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器设备供应商。公司产品涵盖干式真空泵与真空科学仪器设备，其中干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，并在国内外主流晶圆厂实现大批量应用，是唯一实现先进制程批量应用的国产企业。公司产品还广泛应用于光伏、科研等领域，具备全链条制造能力。

主要观点

行业地位：中科仪是国内干式真空泵出货量最大、唯一实现先进制程批量应用的国产企业，产品已进入台积电、SK海力士等国际供应链，并为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件。
技术优势：公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心等三大国家级研发平台，累计获得103项发明专利，主导或参与编制13项国家及行业标准，技术壁垒高。
市场前景：受益于半导体产业自主化和清洁能源转型，干式真空泵作为集成电路和光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。2024年全球集成电路干式真空泵市场规模约125.74亿元，中国大陆市场规模约52.11亿元。
募投项目：公司拟通过募集资金用于“干式真空泵产业化建设项目”“高端半导体设备扩产及研发中心建设项目”及“新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目”，提升产能至年产2万台，实现物流移动50%自动化，加工产线自动化率超90%。
业绩表现：2022-2025年公司营收复合增长率达22.75%，归母净利润复合增长率达19.32%，2024年扣非净利润同比增长20.41%，显示出公司主营业务盈利能力的持续改善。

关键信息

产品与应用

干式真空泵：主要应用于集成电路制造的刻蚀、PVD、CVD等关键工艺环节，以及光伏领域的晶体生长和电池片制造工序。
真空科学仪器设备：主要面向高等院校、科研院所等，用于薄膜材料研究与小批量制备，同时为国家重大科技基础设施提供关键部件。
产品矩阵：公司产品包括L、M、H系列罗茨干泵，覆盖半导体清洁、中等、苛刻工艺，并适配ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI等主流设备厂商的机台。