20260410-开源证券-中科仪-920186.BJ-北交所新股申购报告_半导体核心真空泵突破先进制程_中科院_小巨人_加速国产替代_38页_3mb

报告摘要

中科仪（920186.BJ）总结

核心内容

中科仪是一家专注于真空技术研究与应用的国家级“小巨人”企业，隶属于中国科学院，拥有三个国家级研发平台。公司主要产品包括干式真空泵和真空科学仪器设备，广泛应用于半导体制造、光伏产业及科研领域。作为国内干式真空泵龙头企业，中科仪在集成电路领域实现了对欧美及日本企业的突破，成为唯一在先进制程、清洁工艺、中等工艺和苛刻工艺中实现批量应用的国产企业。

公司是集成电路产业关键零部件国产化的重要推动者，其干式真空泵产品已在中国领先的晶圆制造企业中实现大批量应用，并通过台积电、大连Intel、SK海力士等国际客户的测试验证。此外，中科仪的产品也广泛应用于化合物半导体（如碳化硅、砷化镓）及光伏、锂电等泛半导体领域。

主要观点

技术优势：中科仪拥有八大核心技术，包括无油真空获得及精密加工技术、干泵抽气结构技术等，这些技术帮助其打破海外垄断，提升产品性能和可靠性。
产品结构：公司干式真空泵产品分为L、M、H三大系列，分别适配清洁、中等、苛刻工艺，满足不同制造环节的真空需求。
市场应用：干式真空泵是半导体制造真空系统的核心部件，用于15个主要工艺环节中的11个，占比较高。同时，公司在国家重大科技基础设施（如上海光源、北京高能同步辐射光源等）中承担关键真空装置的研发任务。
财务表现：2022-2025年，公司营业收入持续增长，2025年达到12.91亿元。尽管净利润因股份公允价值变动损益波动较大，但扣非归母净利润稳步上升，从2022年的6,186.11万元增长至2025年的10,297.96万元。
行业前景：随着集成电路和光伏产业的持续增长，干式真空泵市场需求快速扩大。2024年全球集成电路对干式真空泵的需求预计达12.57万台，市场规模约125.74亿元；我国光伏产业对干式真空泵的需求预计为6.7-8.2万台，市场规模约47.0-57.2亿元。
研发与创新：公司持续投入研发，2022-2025年研发费用逐年增加，已获得103项发明专利、20项实用新型专利和37项软件著作权。公司还承担多项国家级科研项目，并参与制定13项国家、行业及团体标准。
政策支持：公司受益于国家对集成电路、光伏及基础研究的大力扶持，未来在国产替代和技术自主可控方面具备良好前景。

关键信息

干式真空泵应用领域：半导体制造、光伏、锂电、制药、化工、食品等。
核心技术：无油真空获得及精密加工、干泵抽气结构、高精度加工与装配、热管理设计、耐腐蚀设计、抗粉尘设计、抗大气载冲击设计、智能数据管理。
市场占有率：2025年干式真空泵销售收入占主营收入的64.70%，公司前五大客户合计销售占比为43.63%，无单一客户占比超过50%。
行业增长数据：
- 2025年全球集成电路市场规模预计为6,779亿美元，较2024年增长25.65%。
- 2020-2024年我国光伏年新增装机容量年均复合增长率达54.91%。
- 2020-2024年我国半导体设备市场规模年均复合增长率达27.55%。
公司地位：
- 是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用的干式真空泵制造商。
- 在真空科学仪器设备领域，公司是国内领先供应商，产品包括PVD、CVD设备及高能物理真空装置。
- 公司在科研仪器设备领域曾获国家科技进步一等奖，并在多个大科学装置中承担关键角色。