电子行业化学品系列报告之一：电子特气，未来已来，成长可期-20200817-东吴证券-42页_956kb

报告摘要

电子特气行业总结

核心内容概述

电子特气是半导体制造过程中不可或缺的电子化学品，被誉为“电子工业的血液”。它广泛应用于清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、外延等多个工艺环节，对半导体器件性能起决定性作用。随着半导体产业向中国大陆转移，以及贸易摩擦带来的国产替代需求，电子特气行业迎来快速发展期。目前，国内电子特气市场规模约为140亿元，预计未来将保持10%以上的复合增长，2024年有望达到230亿元。

主要观点

国产替代加速：全球电子特气市场由五家大型企业占据90%以上市场份额，而国内企业国产化率仅为15%左右，存在较大提升空间。
市场需求增长：半导体产业向国内转移带动电子特气需求增加，预计未来3年晶圆厂密集投产，将显著拉动电子特气市场。
技术壁垒高：电子特气在合成、提纯、储运等环节存在较高技术门槛，客户认证周期长，国内企业尚需突破多个高技术含量品种。
企业布局加快：国内多家企业通过扩产、新建产能等方式，加快电子特气国产化进程，部分企业已实现关键品种的进口替代。

关键信息

市场规模与增长

2019年我国电子特气市场规模约140亿元，预计未来3年保持10%以上增速，2024年将达230亿元。
电子特气在晶圆制造材料中成本占比约14%，为仅次于硅片的第二大材料。

国产化率与替代潜力

目前国产化率约15%，部分关键品种如三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等已实现技术突破，有望率先完成国产替代。
电子特气品种多达上百种，其中35%已实现本土化，35%正在推进，30%尚未本土化。

主要特气品种与企业

特气品种	国内主要企业	国产化率
三氟化氮 (NF3)	派瑞特气、昊华科技、南大光电	高
六氟化硫 (SF6)	雅克科技、昊华科技	高
四氟化碳 (CF4)	雅克科技、昊华科技	中
六氟化钨 (WF6)	派瑞特气、昊华科技、博瑞中硝	中
六氟乙烷 (C2F6)	华特气体	高
超纯氨 (NH3)	金宏气体、华特气体	高
锗烷 (GeH4)	博纯材料	低
磷烷 (PH3)、砷烷 (AsH3)	南大光电	低
乙硼烷 (B2H6)	太和气体、华特气体	低
硒化氢 (H2Se)	太和气体、华特气体	低

重点企业分析

昊华科技：
- 拥有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨等主要产品。
- 2019年特气收入为3.87亿元，毛利率32.55%。
- 国内市占率1.65%，正在建设多个电子特气项目。
雅克科技：
- 收购科美特后，成为电子特气龙头企业。
- 2019年特气收入为3.95亿元，毛利率50.89%。
- 国内市占率1.68%，主导六氟化硫和四氟化碳市场。
华特气体：
- 专注于含氟气体，2019年特气收入为4.13亿元，毛利率38.11%。
- 国内市占率1.76%，六氟乙烷国内市占率超60%。
- 已进入全球领先半导体企业供应链体系。
南大光电：
- 2016年突破磷烷/砷烷生产工艺，2019年特气收入为1.64亿元，毛利率49.98%。
- 国内市占率0.70%，飞源气体是NF3主要供应商之一。
金宏气体：
- 超纯氨国内市占率超50%，2019年特气收入为4.60亿元，毛利率54.78%。
- 国内市占率1.96%，募投项目将重点拓展电子特气业务。
派瑞特气：
- 为中船718所子公司，国内三氟化氮和六氟化钨龙头。
- 2019年特气收入未公开，但市场占有率较高。
博纯材料：
- 2016年率先打破国外对锗烷的垄断，2020年获英特尔战略投资。
- 2019年特气收入未公开，但具备较高技术储备。
博瑞中硝：
- 中日合资企业，依托日方技术优势，布局多个电子特气品种。
- 2019年特气收入未公开，但具有较大发展潜力。
同辉气体：
- 国内笑气（N2O）龙头，二期产能已投产。
- 具备锗烷产能，未来有望进一步扩大。
太和气体：
- 率先实现高纯氯气、乙硼烷等产品的国产化。
- 拟建项目包括多种特气品种，有望提升市场份额。
绿菱电子：
- 为国际气体大厂合格供应商，产品广泛应用于半导体制造。
- 2020年启动6000吨电子特气项目，预计2021年投产。