半导体设备行业系列研究十七：真空泵，光伏为矛、半导体为盾，国产化大幕已开启-20210318-广发证券-37页_4mb

半导体设备行业系列研究十七：真空泵行业分析

核心内容概述

真空泵是制造业中不可或缺的通用设备，广泛应用于半导体、光伏、化工、制药等行业。其核心功能是产生、改善和维持真空环境，直接影响真空成套设备的性能和质量。根据ISVT的统计，2019年全球真空设备市场规模约为350亿元人民币，其中半导体用真空设备占比最大，约为38%，达到135亿元人民币。光伏行业的真空泵需求近年来快速增长，主要受益于行业扩产和技术迭代。

主要观点

• 真空泵的应用领域广泛：在半导体制造中，真空泵用于刻蚀、镀膜、扩散等关键工艺环节，是实现高精度、高均匀性制造过程的核心设备。
• 半导体真空泵需求稳定增长：全球半导体真空泵市场规模预计从2019年的130亿元增长至2025年的217亿元，复合增长率约9%。其中，存量更新占60%-70%，保障了需求的稳定性。
• 光伏真空泵需求快速扩张：随着光伏行业产能扩张和技术路线的多元化，光伏真空泵市场需求快速提升。2019年国内光伏真空泵市场规模约21.7亿元，预计2022年将增长至55.5亿元，复合增长率达36%。
• 国产替代加速推进：汉钟精机、中科仪等国内企业在光伏和半导体领域已实现真空泵的国产突破，随着设备降本需求的增加，国产化进程有望进一步深入。

关键信息

全球真空泵市场

• 2019年全球真空设备市场规模约为350亿元人民币，其中半导体用真空设备占比约38%。
• 全球半导体真空泵市场预计到2025年将达到217亿元，其中设备需求约162亿元，服务需求约54亿元。
• 全球真空泵市场高度集中，Atlas、Pfeiffer、Ebara等企业占据主导地位，Atlas市占率约为53%，Pfeiffer约为13.9%。

国内真空泵市场

• 2019年国内半导体真空泵市场规模约31亿元，预计到2025年将增长至57亿元，复合增长率约7.5%。
• 2019年国内光伏真空泵市场规模约21.7亿元，预计到2022年将增长至55.5亿元，复合增长率约36%。
• 国内光伏真空泵需求主要来自硅片、电池片、组件环节，其中硅片环节对真空泵的需求规模最大。

国内企业表现

• 汉钟精机：2019年真空产品收入3.69亿元，占公司总收入的20.43%。2020年营收增长25.78%，其干式真空泵已进入半导体领域。
• 中科仪：2019年销售真空干泵2546台，销售收入1.57亿元，同比增长97.8%。已进入隆基、晶盛、长江存储等头部客户，产品力获认可。
• 中科科仪：专注于分子泵、旋片泵等高端产品，是国家级高新技术企业。

投资建议

• 关注国内优质企业：汉钟精机、中科仪（拟上市）等企业有望受益于光伏与半导体行业的持续扩产及国产化趋势。
• 投资逻辑：下游扩产带动需求增长，国产替代趋势明显，企业具备技术优势与市场拓展能力。

风险提示

• 行业投资波动可能带来收入不确定性。
• 行业竞争加剧可能导致毛利率下滑。
• 技术研发与国产化进程可能不及预期。
• 国家产业扶持政策变化可能影响行业增长。

重点公司财务分析表

数据来源：Wind、广发证券发展研究中心
备注：表中估值指标按照最新收盘价计算

行业发展趋势

• 技术路线多元化：PERC+/TOPCon/HJT等技术路线的竞争，推动设备降本，促进真空泵国产化进程。
• 设备降本需求：随着光伏设备国产化率的提升，真空泵作为关键部件，其成本下降将对整体设备投资产生积极影响。
• 国产替代加速：国内企业在光伏和半导体领域已实现真空泵的国产突破，未来有望进一步拓展市场。

总结

真空泵作为半导体和光伏行业的重要设备，其市场需求与行业增长密切相关。在全球半导体真空泵市场高度集中的背景下，国内企业如汉钟精机和中科仪正逐步实现国产替代，受益于下游扩产和技术路线的多元化。随着光伏行业碳中和目标的推进和成本的持续下降，真空泵在光伏领域的应用将进一步扩大，市场增长潜力巨大。未来，随着技术进步和国产化进程的加快，真空泵行业将保持稳定增长，成为半导体和光伏设备产业链中的重要一环。