20221009-国盛证券-电子_半导体零部件_行业高景气_国产替代空间广阔_33页_2mb

半导体零部件行业分析总结

核心内容

半导体精密零部件是半导体设备行业的基石，涉及材料、结构、工艺、品质、精度、可靠性及稳定性等多方面要求。其上游原材料包括铝合金及非金属材料，下游应用于光刻、刻蚀、清洗、薄膜沉积等设备。由于零部件对设备性能至关重要，因此其制造工艺复杂，涵盖精密机械制造、表面处理、焊接、电子电机整合等。

主要观点

• 行业供不应求：全球半导体零部件市场因上游扩产不足与下游需求激增矛盾，导致零部件交期延长两倍以上。预计2022年全球半导体零部件市场规模将超过500亿美金，中国大陆市场约152亿美金。
• 市场格局：海外厂商主导，总体分散但局部集中。全球前十大关键子系统供应商合计份额约50%，欧洲企业占据真空子系统全球份额的55%。
• 国产替代加速：国内厂商在部分细分领域实现突破，如富创精密、江丰电子、华亚智能、神工股份等，逐步进入国际供应链，提升市场份额。
• 技术门槛高：精密零部件制造涉及多学科技术，对精度、洁净度、抗腐蚀、材料纯度等要求极高，工艺复杂，技术难度大。

关键信息

• 市场规模：2022年全球半导体零部件市场规模或超500亿美金，中国大陆约152亿美金。
• 零部件种类：包括机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类等。
• 零部件成本占比：通常占设备成本的90%以上，是设备成本的主要组成部分。
• 主要产品：包括反应腔、传输腔、射频电源、气体分配盘、抛光垫、保持环、静电吸盘、精密金属结构件等。
• 关键厂商：如蔡司、MKS、Edwards、VAT、超科林、京鼎、Ferrotec等。

国产厂商突破

4.1 富创精密

• 成立于2008年，是国内领先的半导体精密零部件制造商。
• 产品应用于7nm制程，包括工艺零部件、结构零部件、气体管路和模组产品。
• 2021年营收8.4亿元，同比增长75.2%，归母净利润1.27亿元，同比增长35.3%。
• 2022年H1营收1.77亿元，收入占比和毛利率进一步提升。

4.2 江丰电子

• 主营业务为高纯溅射靶材，2022年半导体零部件业务营收1.77亿元，收入占比提升至16.26%，毛利率达28.28%。
• 产品包括PVD压环、准直器、CVD气体分配盘、CMP抛光垫等。
• 与北方华创、拓荆科技等国内设备厂商达成战略合作，逐步实现国产替代。

4.3 华亚智能

• 专注于半导体精密金属结构件制造，2020年半导体设备收入占比达48.59%，毛利率达56.50%。
• 产品应用于刻蚀、沉积、检测等设备，直接客户包括超科林、AMAT、Lam Research等。
• 2021年上市，计划扩建产能，拓展装配业务，实现从零部件供应到整套装配服务。

4.4 神工股份

• 2021年营收4.74亿元，同比增长146.69%，归母净利润2.18亿元，同比增长117.84%。
• 产品包括16英寸及以上大直径单晶硅材料和8英寸轻掺低缺陷硅片。
• 8英寸硅片已进入国内某IC制造商第二阶段送样，有望实现国产替代。
• 公司发布股权激励计划，目标2022年营收增速不低于30%，2023年不低于69%，2024年不低于120%。

4.5 万业企业

• 收购Compart Systems，成为全球领先的气体输送系统解决方案供应商。
• 2020年收购肯发，持股33.31%，公司转型为装备材料平台型公司。
• 肯发提供从BTP到高级别组装的金字塔式服务，拥有高精度CNC加工能力。
• 2022年大基金二期增资3.5亿元，加速国产替代进程。

4.6 华卓精科

• 与清华大学合作，布局超精密测控装备零部件及整机。
• 产品包括精密运动系统、光刻机双工台模块、隔振器等。
• 2021年H1营收0.6亿元，但因研发和管理投入增加导致亏损。
• 2020年光刻机双工台模块营收占比达11.42%，产品逐步渗透至半导体、光学、医疗等领域。

建议关注企业

• 富创精密
• 江丰电子
• 华亚智能
• 神工股份
• 万业企业
• 华卓精科
• 新莱应材
• 先锋半导体

风险提示

• 客户认证不及预期
• 下游需求不及预期
• 全球贸易纷争影响
• 扩产进展不及预期
• 新产品研发不及预期