20200803-东吴证券-专用设备_中芯国际合资扩产_国产设备商有望加速获得订单_11页_857kb

专用设备行业总结

核心内容

中芯国际宣布与北京开发区成立合资企业，从事28nm及以上制程的集成电路项目。首期规划10万片/月的12寸晶圆产能，投资金额达76亿美元，注册资本50亿美元，中芯国际占股51%。此次扩产将拉动至少60亿设备需求，为国产设备商带来重要机遇。

主要观点

1. 国产设备商加速获得订单

   • 中芯国际的扩产计划将显著提升国产设备在招标中的占比，尤其在刻蚀、清洗等环节。
   • 国家大基金对设备国产化率有明确要求，加上战略配售，进一步推动国产替代进程。

2. 晶圆制造核心设备市场增长

   • 光刻、刻蚀、薄膜沉积是晶圆制造的核心步骤，设备价值量占比分别为23%、30%、25%。
   • 刻蚀设备在产线中的价值占比逐步提升，预计2025年全球刻蚀机市场规模达140亿美元，年复合增长率6.6%。

3. 国产替代进程加快

   • 刻蚀设备领域，中微公司与北方华创已开始实现进口替代，中微公司在国内市场份额约为15%-17%。
   • 清洗设备领域，国产化率较低，但因技术门槛相对较低，有望率先实现全面国产化，预计2023年国产化率可达40%-50%。

4. 大硅片国产化浪潮兴起

   • 大硅片市场长期被国外企业占据，但中环股份与上海新昇已具备一定供应能力。
   • 多家硅片企业加速扩产，带动设备需求爆发，预计释放超百亿设备市场空间。

关键信息

• 中芯国际投资计划：2020年首期投资76亿美元，主要用于上海300mm晶圆厂的机器及设备和FinFET研发线，设备投入占比超80%。
• 设备国产化率提升：中芯国际清洗设备国产化率已达40%，刻蚀设备国产化率尚低，但正在逐步提升。
• 行业数据：2019年中芯国际资本开支超过127亿人民币，2020年计划资本开支增长至43亿美元。
• 国产设备商受益情况：中微公司、北方华创、至纯科技、晶盛机电等设备商在中芯国际扩产中有望显著受益。

主要设备商及市场前景

• 中微公司：国产刻蚀设备龙头，进入全球供应链，市场份额约15%-17%，营收与净利润增速显著。
• 北方华创：多业务布局的晶圆设备龙头，PVD设备已实现量产，中标华虹无锡项目。
• 至纯科技：国内清洗设备龙头，二季度出货超10台设备，处于产能扩张阶段。
• 晶盛机电：大硅片设备龙头，已具备8寸线80%整线供应能力，12寸单晶炉与抛光机供应能力逐步提升。

市场趋势与预测

• 清洗设备市场空间：预计中国大陆地区每年湿法清洗设备市场空间在15-20亿美元，2023年有望达到40-70亿元。
• 硅片市场格局：12英寸硅片市场被国外企业主导，但中环股份与上海新昇正逐步缩小差距。
• 设备需求爆发：随着沪硅产业、神工股份等硅片企业IPO上市和扩产计划推进，设备需求预计集中释放，达到百亿级别。

风险提示

• 晶圆厂投产不及预期。
• 设备及材料国产化进程不及预期。

投资建议

• 重点推荐：中微公司（刻蚀设备龙头）、北方华创（晶圆设备龙头）、至纯科技（清洗设备龙头）、晶盛机电（大硅片设备龙头）。
• 建议关注：长川科技。

数据来源

• 中芯国际官网
• 东吴证券研究所
• SEMI、芯思想研究院、WIND等第三方数据平台
• 中国国际招标网

附图说明

• 图1：2020Q1中芯国际资本支出同比增长76.6%
• 图2-5：中芯国际各设备国产化率数据
• 图6-20：晶圆制程工艺与设备市场趋势
• 图21-22：至纯科技营收与净利润增长情况
• 图23-24：硅片市场格局与产能统计
• 图25：设备需求预测与市场空间分析