20230119-光大证券-光伏设备行业动态跟踪报告_微导纳米PE-Poly设备成功规模导入头部光伏电池企业_2页

行业研究总结

核心内容

微导纳米的PE-Poly设备在光伏行业取得重要进展，成功实现对头部光伏电池企业的规模供应，标志着其在TOPCon电池核心工艺设备领域的竞争力提升。该设备能够完成隧穿氧化层、非晶硅层及原位掺杂三道关键工序，具备投资成本低、工艺时间短、效率高以及解决绕镀问题等优势，被视为LPCVD工艺的有力竞争者。

主要观点

• TOPCon工艺设备技术路线多样化：TOPCon电池相较于PERC电池新增了硼扩散设备、隧穿层与p-Poly层制备设备，以及去绕镀刻蚀设备，同时减少了激光开槽设备。其中，2nm超薄隧穿层与掺杂多晶硅层制备是核心环节，技术路线包括LPCVD、PECVD、PEALD等。
• 微导纳米PE-Poly设备的技术优势：该设备为PEALD+PECVD二合一机台，融合了公司在原子层沉积（ALD）领域的技术优势，能够实现超薄、大面积均匀沉积的隧穿氧化层，提升电池效率。
• 行业竞争格局将发生变化：随着微导纳米设备在头部企业中的成功应用，其产品力得到验证，未来有望在TOPCon设备市场中与LPCVD、PECVD等传统厂商形成三足鼎立之势。
• 市场空间扩大与业绩弹性提升：微导纳米的光伏设备业务从ALD钝化层逐步向整套TOPCon工艺解决方案拓展，市场空间显著扩大，业绩增长潜力较大。

关键信息

• 微导纳米与通威合作：2023年1月18日，微导纳米与彭山通威签订合同，供应价值4.5亿元（含13%增值税）的ALD钝化设备及PE-Poly设备，用于通威眉山32GW高效电池项目一期16GW产线。
• 技术验证成果：此前微导纳米与先导智能合作的PEALD二合一设备已在无锡尚德2GW数字化TOPCon产线成功量产，光电转化效率超过25%，实现GW级产业突破。
• 投资建议：建议关注微导纳米在光伏设备板块的成长潜力，尤其是其在半导体ALD设备领域的密集验证和重复订单情况。
• 风险提示：
  • TOPCon产业化进度不及预期；
  • 新型电池技术迭代速度过快；
  • 传统头部设备厂商更新设备进度缓慢。

估值与评级说明

• 行业评级：买入（维持），表示未来6-12个月的投资收益率预计领先市场基准指数15%以上。
• 分析师信息：
  • 分析师：杨绍辉，执业证书编号：S0930522060001，联系方式：021-52523860，邮箱：yangshaohui@ebscn.com。
  • 联系人：林映吟，联系方式：021-52523418，邮箱：linyingyin@ebscn.com。
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图表说明

• 行业与沪深300指数对比图：显示光伏设备行业与沪深300指数的相对表现，来源：Wind。