深度报告-20221205-开源证券-至纯科技-603690.SH-公司首次覆盖报告_国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头_前景可期_26页_2mb

至纯科技（603690.SH）总结

公司概述

至纯科技成立于2000年，2017年在科创板上市，是国内领先的半导体清洗设备与高纯工艺系统提供商，同时涉足电子材料、部件清洗及晶圆再生等细分领域。公司技术实力雄厚，产品广泛应用于集成电路、平板显示、光伏、生物制药等领域。

核心内容与主要观点

1. 公司为国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，业绩优秀

• 股权结构集中：蒋渊、陆龙英及尚纯投资为一致行动人，合计持股29.33%，公司实际控制人蒋渊女士直接持股22.12%。
• 业务布局：公司设立五个事业部，分别负责高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光电子、晶圆再生及设备零部件等业务。
• 业绩表现：2017-2021年公司营业收入由3.69亿元增长至20.84亿元，CAGR达54.16%。2022年前三季度营收19.25亿元，扣非净利润1.86亿元，分别同比增长50.13%和130.54%。
• 毛利率稳定：公司毛利率稳定在36%左右，2022年前三季度毛利率为35.48%。

2. 高纯工艺系统应用广泛，公司实力强大，成长动力充足

• 应用场景广泛：高纯工艺系统广泛应用于泛半导体（集成电路、光伏、LED等）及生物制药、食品饮料等领域。
• 行业特点：客户依赖性强、技术要求高，导致行业壁垒高，国际供应商仍占据主要市场份额，但本土企业正逐步实现进口替代。
• 公司优势：公司拥有丰富客户资源，已为多家行业领军企业提供服务，如长江存储、中芯国际、华虹等。2021年高纯工艺系统收入达10.78亿元，占总营收的52%。
• 技术优势：公司已实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者。

3. 半导体清洗设备国产替代空间大，公司积极扩产，布局细分赛道，前景可期

• 市场空间大：清洗设备占半导体设备投资份额的5%，全球市场规模大，中国市场份额持续提升。
• 湿法清洗为主：湿法清洗占清洗设备的90%，公司湿法清洗设备可满足28nm及以下制程需求。
• 国产替代进展：公司已成功完成多项湿法清洗设备研发，实现产品国产化，2022H1新增订单8.06亿元，同比增长87.44%。
• 晶圆再生布局：公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，是国内首条投产的12寸晶圆再生产线，具有显著的经济与技术价值。

关键信息

• 市场前景：随着国内晶圆厂扩产及国产替代趋势，公司订单饱满，成长动力充足。
• 盈利预测：预计2022-2024年公司可分别实现归母净利润3.47/4.98/6.52亿元，EPS分别为1.08/1.56/2.04元，当前股价对应PE为38.5/26.8/20.5倍。
• 技术发展：公司持续投入研发，推动湿法清洗设备及零部件国产化进程，2022年新增订单目标为20亿元。
• 风险提示：原材料价格上涨、客户验证不及预期、下游需求不及预期。

财务摘要

营业收入（单位：百万元）

归母净利润（单位：百万元）

毛利率（%）

EPS（元）

PE（倍）

投资建议

公司作为国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，技术实力强大，产品受到市场认可，在国产品晶圆厂积极扩产及国产替代趋势下，公司在手订单饱满，成长动力充足。首次覆盖给予“买入”评级。

风险提示

• 技术研发不达预期
• 市场竞争加剧
• 下游行业扩产进展不及预期