20200615-东吴证券-至纯科技-603690.SH-立足高纯工艺_半导体清洗设备将迎增长_36页_2mb

至纯科技总结

核心内容

至纯科技是一家专注于高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备研发、生产、销售及技术服务的公司。2019年，其高纯工艺系统收入为6.37亿元，占总收入的65%，而半导体清洗设备业务收入为0.82亿元，占8%。公司通过并购波汇科技，进一步拓展了光传感器业务，实现了在光电子领域的布局。

主要观点

• 高纯工艺系统业务：公司是国内龙头，客户粘性强，技术壁垒高，预计未来年化复合增长在10%-20%之间，2020-2022年收入分别为8.6亿、10.4亿、11.4亿元。
• 半导体清洗设备业务：市场空间大，技术门槛相对较低，具备国产替代潜力。公司已实现槽式和单片式清洗设备的批量出货，未来有望在单片式清洗设备领域成为国内领先厂商。
• 光传感器业务：通过收购波汇科技进入光传感市场，与现有业务形成协同效应，有助于提升公司盈利能力。
• 盈利能力与增长：2019年公司归母净利润为1.1亿元，同比大幅增长240%。预计2020-2022年净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿元，当前股价对应的动态PE分别为53倍、38倍、29倍，低于可比公司，具备估值提升空间。

关键信息

高纯工艺系统

• 高纯工艺系统是制造业企业固定资产投资的重要组成部分，约占其总投资的5%-8%。
• 下游包括医疗、光伏、半导体等领域，2019年新增订单总额约8.8亿元。
• 公司具备较强的客户粘性，主要客户为行业一线企业，如中芯国际、华力、长江存储等。
• 公司高纯工艺系统毛利率优于竞争对手，2019年达34.35%，且2019年营收增长至6.37亿元，复合增速为25%。

半导体清洗设备

• 清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5%-6%，技术门槛相对较低，国产替代空间大。
• 2019年公司湿法清洗设备新增订单总额达1.7亿元，已取得近40台正式订单。
• 公司已具备8-12寸清洗设备的生产能力，单片式清洗设备在2019年中完成客户验证。
• 2022年达产后，清洗设备业务收入预计可达9亿元，未来有望成为公司增长的重要引擎。

光传感器业务

• 波汇科技是光传感器及光电子元器件研发制造及数据分析软件研发的综合解决方案服务商。
• 2019年波汇科技营收2.72亿元，净利润6268万元，业绩承诺完成率109%。
• 光传感技术与高纯工艺系统结合，有助于提升公司高纯工艺系统的市场竞争力和附加值。

投资与扩张

• 公司2019年发行可转债3.56亿元，用于槽式和单片式清洗设备的生产制造，预计2022年达产。
• 2020年4月，公司发布定增预案，拟募资14.9亿元，用于偿还贷款及补充流动资金，并引入战略投资者，增强公司竞争力。
• 公司股权结构稳定，实际控制人蒋渊持股29.48%，公司通过股权激励计划激发员工积极性，提升业绩表现。

业务结构与增长

• 公司2015-2019年收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%。
• 2019年半导体清洗设备业务收入占比提升，成为公司最大亮点。
• 2020年Q1归母净利润为-0.15亿元，主要因疫情导致订单无法执行。
• 公司2019年研发投入达0.73亿元，占总收入7.4%，技术储备充分，研发人员数量增加，形成竞争优势。

市场前景

• 全球半导体设备市场回暖，2020年有望增长5.5%，中国市场份额持续提升。
• 2019年中国大陆湿法清洗设备市场空间约15-20亿美元，预计到2023年国产化率可达40%-50%。
• 随着芯片制程的不断升级，清洗环节的重要性日益凸显，单片式清洗设备成为主流。

风险提示

• 半导体业务进展不及预期。
• 毛利率波动风险。
• 收购协同效应不及预期。

图表目录（关键数据）

• 图1：2019年高纯工艺系统贡献65%的主要收入
• 图2：目前公司客户主要集中在半导体行业
• 图3：公司通过并购实现业务扩张
• 图4：高纯工艺系统为核心工艺设备运转提供支持
• 图5：公司湿法工艺设备布局历程
• 图6：半导体领域业务占比逐年提升
• 图7：近5年公司营收高速增长，CAGR达48%
• 图8：2019年净利润同比增长240%
• 图9：2019年毛利率和净利率均显著回升
• 图10：三费费用管控良好
• 图11：上市后研发投入明显提升
• 图12：公司股权结构稳定
• 图13：高纯工艺系统行业上下游
• 图14：高纯工艺系统在泛半导体领域的核心工艺都有应用
• 图15：光伏行业或迎来下一轮增长周期
• 图16：MiniLED是LED未来发展的重要领域
• 图17：高纯工艺系统在生物制药行业的应用
• 图18：本土供应商收入规模不及国际厂商
• 图19：至纯科技高纯工艺系统毛利率优于竞争对手
• 图20：19年全球半导体市场景气承压
• 图21：19年全球半导体设备销售额小幅回落
• 图22：中国半导体设备销售额稳定增长
• 图23：中国半导体设备占比逐年上升
• 图24：全球半导体清洗设备市场容量稳步增长（CAGR=7%）
• 图25：2019年全球清洗设备价值量占比约5.5%
• 图26：清洗工艺在半导体制程各环节均有参与
• 图27：22nm及以下的制程中光刻和清洗工艺最重要
• 图28：清洗步骤在晶圆制造过程中占比达三分之一
• 图29：随着制程推进，芯片良率逐步降低
• 图30：随着制程推进，清洗步骤不断增加
• 图31：在晶圆制造过程中，清洗机的清洗流程可重复超200次
• 图32：各个类别的原材料的构成情况
• 图33：湿法清洗工艺占比达90%
• 图34：槽式清洗设备原理
• 图35：单片式清洗设备原理
• 图36：全球清洗设备市场份额
• 图37：华力集成清洗招标龙头SCREEN，国产率19%
• 图38：长江存储清洗招标龙头SCREEN，国产率35%
• 图39：合肥晶合清洗招标龙头泛林，国产率0%
• 图40：华虹无锡清洗招标龙头泛林，国产率14%
• 图41：至纯科技湿法清洗设备
• 图42：2019年研发人员数量大幅增加
• 图43：波汇科技是以传感器及主机分析仪研发制造以及数据分析软件研发等为主的综合解决方案服务商
• 图44：汇波科技2019年营收2.72亿元，同比-2.9%
• 图45：汇波科技2019年归母净利润6268万元，同比+70%

表格目录（关键数据）

• 表1：公司近几年新接订单增速较快
• 表2：公司高纯工艺系统主要产品
• 表3：高纯工艺系统供应商行业格局
• 表4：国内外竞争对手
• 表5：代表性集成电路产业扶持政策
• 表6：槽式清洗与单片式清洗工艺对比
• 表7：国产半导体设备商对比
• 表8：可转债募投项目
• 表9：非公开发行股票认购对象情况