深度报告-20201025-华创证券-异质结设备行业深度研究报告_HJT产业化_助推器_提效降本潜力可期_26页_2mb

报告摘要

HJT（异质结）技术作为下一代主流光伏电池技术，具备显著的提效潜力，预计可实现比PERC高出约1.5%的电池效率。然而，其产业化面临两大关键挑战：效率提升与成本下降。设备作为HJT技术发展的核心瓶颈，尤其在PECVD和PVD环节，是实现效率与成本平衡的关键。

技术路线：分为静态与动态，链式、团簇式和U型结构。
静态PECVD：运行稳定，但成本高、产能低。
动态PECVD：成本低、产能高，但运行不稳定。
RF-PECVD：薄膜均匀性好、透光率高，但沉积速率慢。
VHF-PECVD：沉积速率高、电导率好，但薄膜不均匀、透光率低。
设备厂商：
- 梅耶博格：采用盒中盒式S-Cube反应器，可实现高钝化效果，单台设备产能为2400片/小时，uptime为90%。
- 理想万里晖：采用抽屉式反应腔和双真空系统，提升产能和工艺稳定性，单台设备产能可达5000片/小时，uptime>90%。
- 钧石能源：采用模块化链式结构和大载板设计，提升产能和稳定性，uptime>90%，单台设备产能可达3500片/小时。
- 迈为股份：采用准动态镀膜工艺，实现高产能，单台设备产能达8000片/小时，uptime≥90%。
- 捷造光电：采用inline线列式结构，具备独立模块化设计，提升工艺稳定性，单台设备产能达3000片/小时，uptime≥90%。
- 捷佳伟创：正在布局PECVD设备，预计未来可实现更高产能。

PVD工艺：适用于TCO薄膜沉积，具有较高的稳定性和较低的成本，但沉积速率较慢。
RPD工艺：具有更高的沉积速率和更优的镀膜质量，但存在专利壁垒，目前主要采用PVD。
设备厂商：
- 冯阿登纳：拥有深厚的技术积淀，设备性能优异，最新一代PVD设备产能可达8000~10000片/小时，uptime>93%。
- Singulus：采用模块化结构，可灵活选择溅射方向，单台设备产能达6000片/小时，uptime>90%。
- 梅耶博格：PVD设备可实现无翻转双面沉积，具有较高的靶材利用率和较低的光吸收率，每小时产能约3000片。
- 钧石能源：采用双旋转靶设计，提升靶材利用率，单台设备产能达5000片/小时，uptime>90%。
- 捷佳伟创：获得日本住友的RPD技术授权，推出RPD5500A设备，具备高效率和低碎片率，单台设备产能达5500片/小时，uptime>90%。
- 捷造光电：采用定制磁场设计，提升镀膜质量，单台设备产能达6000片/小时，uptime>90%。