深度报告-20240625-国海证券-半导体前道量检测设备行业报告（二）__先进制程关键设备_电子束检测正崛起_41页_6mb

半导体前道量检测设备行业报告总结：电子束检测技术崛起

核心内容

随着集成电路工艺节点持续缩小，电子束检测技术因其高精度、低漏检率的优势，成为先进制程芯片良率的关键保障。报告指出电子束检测技术在先进制程中占据重要地位，尤其是在光刻工艺和复杂结构缺陷检测方面表现突出。

国内外市场情况

全球半导体量检测设备市场占有率方面电子束检测虽低于光学检测，但因其技术优势，市场增速迅猛，2024年预计达到25亿美元，2025年增长至34亿美元，年均复合增长率高达199%。相比之下，国内市场目前国产化率不足1%，电子束检测设备国产化潜力巨大。

国产替代前景

电子束检测设备国产化机遇广阔，国内主要厂商如精测电子、中科飞测、东方晶源已开始在关键设备上取得突破。随着国产技术的迅速发展与国内对半导体自主可控的重视，这些企业在电子束设备领域有望占据更大份额。

投资建议

报告推荐投资者关注相关设备商，包括：

• 精测电子：国内领先的电子束缺陷复查设备（DR-SEM）厂商，拥有低亿纳米级先进制程的检测能力。
• 东方晶源：专注于电子束缺陷检测与关键尺寸量测（CD-SEM），CD-SEM设备已应用于多个先进制程。
• 中微公司：国内领先的刻蚀设备商，正在布局量检测设备领域，考虑进入电子束检测市场。
• 中科飞测：产品种类丰富，包括多款国产光束检测设备，并已完成多个项目交付。

注：以上摘自2024年6月国海证券报告，建议投资者结合最新市场动态谨慎决策。