20191205-广发证券-半导体国产替代系列九：离子注入机：四大核心装备之一，迎来国产替代机遇_27页_1mb

半导体国产替代系列九：离子注入机

核心内容

离子注入机是半导体制造、太阳能电池、AMOLED面板等领域的关键设备之一，主要通过将离子注入硅片材料中实现掺杂工艺，从而改变材料的性能。其在集成电路制造中尤为重要，尤其是低能大束流离子注入机，是当前主流设备，技术难度最高。

主要观点

• 市场空间广阔：全球离子注入机市场规模较大，预计在晶圆加工设备、光伏设备和AMOLED设备中分别占5%、0.3%以上和7%左右，对应的市场规模分别为25亿美元、1.02亿美元以上和3.64亿美元以上。随着全球半导体需求增长、技术演进以及AMOLED和光伏行业的持续发展，市场规模有望进一步扩大。

• 竞争格局集中：离子注入机行业存在较高技术壁垒，国外厂商占据主导地位，尤其是美国应用材料公司和Axcelis公司，合计占据全球70%以上的市场份额。国内厂商如凯世通和中科信正在逐步取得突破。

• 国内厂商进展显著：政策、资金和市场需求推动国内晶圆厂建设，为离子注入机行业带来发展机遇。凯世通和中科信在技术储备和客户认证方面取得良好进展，部分领域已实现全球领先。

关键信息

市场空间

• 半导体制造：2018年全球晶圆加工设备市场规模达502亿美元，离子注入机占5%，市场规模约25亿美元。
• 太阳能电池生产：2017年全球太阳能离子注入机市场规模约1.02亿元人民币，占光伏设备市场规模的0.3%以上。
• AMOLED面板制造：2019年全球OLED面板设备投资达52亿美元，离子注入机占AMOLED设备投资的7%，市场规模至少为3.64亿美元。

竞争格局

• 国际厂商：美国应用材料公司和Axcelis公司占据半导体制造领域主导地位，凯世通、Intevac和日本真空技术在太阳能电池生产领域占据重要位置，日新离子机株式会社在AMOLED面板制造领域具有垄断地位。
• 国内厂商：凯世通和中科信是国内主要的离子注入机生产商，其中凯世通已实现太阳能离子注入机的量产，并在集成电路和AMOLED领域取得进展。

国内发展动因

• 政策支持：如“02专项”、“国家集成电路产业发展推进纲要”等政策推动国内半导体设备发展。
• 资金投入：大基金一期和二期的设立为半导体设备产业提供了大量资金支持。
• 市场需求：中国为全球最大的半导体需求市场，2018年销售额占全球34%。同时，国内晶圆厂建设加快，带来大量设备采购需求。

国内厂商进展

• 凯世通：已实现太阳能离子注入机的量产，产品性能达到或超过国外同类产品，且在集成电路和AMOLED领域也有布局。
• 中科信：在低能大束流离子注入机领域取得进展，已实现部分产品的国产化，并在2016-2019年期间获得多项中标。

投资建议

• 建议关注万业企业（已收购凯世通100%股权）和中科信（未上市），这两家公司在离子注入机领域已取得重要进展，未来有望显著受益于国内市场需求的增长。

风险提示

• 技术更新换代风险
• 下游投资不及预期风险
• 专利风险

附录：离子注入机应用

半导体制造

• 离子注入机主要用于FEOL（前道工艺）中，负责掺杂P/N型物质，实现晶体管制造中的关键步骤。

太阳能电池生产

• 离子注入用于制备P-N结，对电池转换效率、衰减率和良品率等有重要影响。

AMOLED面板制造

• 离子注入机在AMOLED前段设备中占比约10%，整体占比约7%，随着AMOLED市场需求增长，其应用前景广阔。