电子元器件行业海外硬科技龙头复盘研究系列之四：论国产半导体量测设备行业发展之天时地利人和-20230517-东兴证券-32页_1mb

国产半导体量测设备行业发展总结

核心内容

半导体量测设备行业具有高技术壁垒，全球市场由美国和日本等海外厂商主导，市场集中度高。科磊半导体（KLA）作为全球龙头，市占率超过50%，其产品覆盖几乎全部量测设备品类，并通过并购“隐形冠军”不断拓展产品线。国内半导体量测设备行业仍处于初步发展阶段，但受益于天时地利人和，有望实现弯道超车。

主要观点

1. 行业壁垒高，竞争格局集中

   • 半导体量测设备分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大类，分别占比55%和34%。
   • 全球半导体量测设备市场6年CAGR为12.21%，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备和关键尺寸量测设备占比分别为24.7%、11.3%和10.2%。
   • 由于技术、专利被海外厂商垄断，国内量测设备发展受限，目前国产化率较低。

2. KLA的成长路径

   • KLA通过深耕半导体领域、不断挖掘客户需求、并购细分领域“隐形冠军”来拓展产品矩阵和市场占有率。
   • 其收入在2022年达到26.6亿美元，同比增长31.16%，中国地区收入占比达29%，且在台湾地区也保持快速增长。
   • 研发投入持续增长，2022年研发费用为11.05亿美元，占收入的12%。

3. 国产量测设备的发展机遇

   • 天时：半导体行业持续增长，国家政策频出，推动解决“卡脖子”问题。
   • 地利：半导体产业向国内转移，产业基金支持，为本土化落地提供良好环境。
   • 人和：越来越多专家和行业领军人物回国，推动技术know-how的突破。

关键信息

• 国产量测设备发展受限于制造设备国产化率低，目前多数设备国产化率不足20%。
• 国内半导体检测设备企业如精测电子、中科飞测、赛腾股份等，已开始在特定领域实现国产替代。
• 国内量测设备需在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等方面进一步提升，以满足先进制程需求。

国内企业发展现状

精测电子

• 成立于2006年，2018年拓展至半导体检测领域，形成“平板显示+半导体+新能源”业务布局。
• 2022年半导体检测营收1.83亿元，同比增长34.12%，占总收入6.69%。
• 研发投入持续增长，2022年研发投入5.89亿元，占收入21.58%，同比增长29.70%。

赛腾股份

• 成立于2001年，2019年收购日本Optima，进入半导体检测设备领域。
• 2022年营收29.34亿元，同比增长26.55%，归母净利润2.93亿元，同比增长63.54%。
• 研发投入持续增长，2022年研发费用3亿元，同比增长20.89%。

中科飞测

• 成立于2014年，专注检测和量测设备，产品包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测等。
• 2022年营收5.02亿元，检测设备营收占比超过65%。
• 设备灵敏度和吞吐量可满足不同客户需求，与国际竞品性能相当，已在中芯国际、长江存储等产线实现国产替代。

投资建议

• 国内半导体量测设备行业有望迎来黄金十年，建议关注精测电子、中科飞测和赛腾股份等企业。
• 国产量测设备在特定领域已实现突破，未来将通过横向和纵向扩张实现更大发展。

风险提示

• 下游需求可能放缓。
• 技术导入和客户导入不及预期。
• 贸易摩擦可能影响行业发展。