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涂胶显影持续突破，清洗业务放量增长

核心内容

芯源微是一家专注于半导体设备研发、生产与销售的公司，2021年实现营业收入8.3亿元，同比增长152.0%；归母净利润0.8亿元，同比增长58.4%。公司主要业务包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，其中涂胶显影设备贡献了主要营收，占比达62%；单片式湿法设备虽占比不高，但增长迅速，2021年营收同比增长280.6%。

主要观点

1. 业务增长强劲

• 营收增长：2021年公司营收增长显著，主要受益于下游晶圆制造厂的扩产和半导体行业资本开支的大幅增长。
• 利润增长：归母净利润增长58.4%，且未来三年净利润复合增速预计超过55%。
• 订单充足：公司涂胶显影设备库存同比增长145%，单片式湿法设备库存增长277%，显示在手订单充足，未来营收增长具有确定性。

2. 技术突破与市场拓展

• 涂胶显影技术：offline设备已实现批量销售，I-line设备通过部分客户验证进入量产，KrF设备完成客户ATP验证，具备国产化替代能力。
• 清洗业务放量：公司已获得多家国内外主流厂商的批量订单，包括中芯国际、上海华力、武汉新芯、士兰集科、扬洁科技、青岛芯恩、上海积塔等，客户导入进展顺利。

3. 未来增长潜力

• 产能扩张：彩云路一期即将达产，二期与临港厂区正在积极建设，未来产能保障充足。
• 业务预测：预计2022-2024年公司营业收入分别为1255.26亿元、1783.32亿元、2297.43亿元，分别同比增长51.5%、42.1%、28.8%。EPS预计分别为1.73元、2.55元、3.49元，对应2022年PE为108倍，目标价186.9元，首次覆盖给予“买入”评级。

4. 行业前景良好

• 半导体资本开支：2021年全球半导体行业资本开支达1539亿美元，同比增长36.1%；预计2022年将增长至1904亿美元，同比增长23.7%。
• 设备需求强劲：随着下游扩产，半导体设备市场空间有望进一步扩大，芯源微在其中具有较强竞争力。

关键信息

财务表现

• 毛利率：2021年为38.1%，同比下降4.5个百分点。
• 净利率：2021年为9.3%，同比下降5.5个百分点。
• 费用率：销售费用率下降2.6个百分点至8.8%，管理费用率下降6.2个百分点至11.2%，研发费用率下降2.7个百分点至11.2%。

技术与研发

• 公司拥有深厚的技术积累，曾两次承接国家重大专项项目，技术实力突出。
• 研发投入持续，近五年研发费用率均高于10%，凸显公司对技术发展的重视。

股权结构

• 股权较为分散，各股东持股比例均未超过20%，但多为国资背景，股权结构相对稳定。
• 第一大股东为郑广文，持股16.1%。

市场估值

• 2022年PE为108倍，对应市值157.3亿元，目标价186.9元。
• 可比公司平均PE为100倍，芯源微因业务增长潜力和清洗业务放量，给予估值溢价。

风险提示

• 技术研发不及预期：先进制程涂胶显影设备和InLine设备技术研发可能未达预期。
• 市场竞争加剧：清洗设备市场可能面临更激烈的竞争。

盈利预测

估值指标

总结

芯源微凭借在涂胶显影和清洗设备领域的技术突破和市场拓展，实现了2021年的显著业绩增长。公司未来三年预计保持较高增长，盈利能力和市场占有率有望持续提升。尽管存在技术研发和市场竞争等风险，但整体来看，公司具备良好的成长性和估值潜力，首次覆盖给予“买入”评级。