深度报告-20220819-天风证券-半导体设备零部件_小而美子赛道组成数百亿美元市场_国产化尚有大空间_46页_5mb

半导体设备零部件行业分析总结

核心内容概述

半导体设备零部件是半导体制造设备的重要组成部分，其在设备总价值中占比约50%，是设备厂商营业成本的主要来源，占营业成本的90%左右。该行业细分种类繁多，包括机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类和热管理类等，具有高技术密集和学科交叉融合的特点。

主要观点

• 零部件的重要性：半导体设备零部件是半导体制造设备的核心部分，直接影响设备的性能、质量与稳定性。
• 国产化率低：目前，全球半导体设备零部件市场由国外厂商主导，国产化率整体较低，仅部分零部件如石英制品、喷淋头、边缘环组件等国产化率超过10%，而像阀门、静电吸盘、测量仪表等国产化率不足1%。
• 市场潜力大：全球半导体设备零部件市场规模预计在2022年达到554亿美元，2030年预计达到680亿美元；中国大陆市场在2022年预期规模为145亿美元，2030年约为180亿美元。
• 产能转移带来的机遇：随着半导体产能向中国大陆转移，国内厂商迎来发展契机，通过夯实单一赛道竞争力和横向拓展业务版图，有望提升市场地位。
• 行业格局：国外厂商在行业头部占据优势，细分品类集中度高，而国内厂商多数处于第一阶段，需提升核心产品竞争力并逐步拓展业务。

关键信息

市场规模

• 全球市场规模：预计2022年达554亿美元，2030年达680亿美元。
• 中国大陆市场规模：预计2022年为145亿美元，2030年约为180亿美元。
• 关键零部件市场规模：2022年，石英制品、射频发生器和泵的市场规模分别为16.03亿、14.57亿和14.57亿美元。

市场格局

• 国外厂商：占据头部地位，如VAT、MKS、Advanced Energy、Ferrotec等。
• 国内厂商：主要集中在通用型零部件，如新莱应材、晶盛机电、万业企业等，但整体国产化率较低。
• 细分赛道：行业存在“小而美”特点，厂商间有不同的产品布局战略，包括“纵向”和“横向”发展。

国产化率

• 高国产化率零部件：石英制品、喷淋头、边缘环组件等国产化率超过10%。
• 低国产化率零部件：阀门、静电吸盘、测量仪表等国产化率不足1%，依赖进口。
• 国产替代机会：由于国外厂商交期延迟，以及国内半导体设备渗透率提高，国产替代成为趋势。

投资建议

以下公司值得关注：

1. 正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力。
2. 江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破。
3. 北方华创：业绩持续高增长，设备品类加速扩张。
4. 新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔。
5. 华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长。
6. 神工股份：轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速。
7. 英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长。
8. 富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势。

风险提示

• 海内外疫情反复
• 研发成果不及预期
• 下游需求不及预期
• 客户认证进度不及预期

主要细分零部件分类

海外龙头公司分析

VAT

• 定位：真空阀全球领导者，产品种类齐全，应用广泛。
• 市场地位：2020年全球真空阀市场份额达55%，稳居第一。
• 营收结构：2021年营收9.89亿美元，净利润2.39亿美元，同比增长分别为30.1%和64.94%。
• 下游应用：半导体行业收入占比约75%，其他包括太阳能板、高端工业制造等。

超科林（UCT）

• 技术优势：掌握气体运输和设备清洗核心技术，如高端焊接技术与化学分析技术。
• 业务布局：深耕气体运输系统，2021年产品销售收入占比85.8%，其中半导体领域占比最高。
• 客户结构：泛林、应用材料为核心客户，合计份额64%。
• 财务表现：2021年营收21.02亿美元，净利润1.20亿美元，净利率6.0%。

MKS

• 布局策略：横向拓展多个子赛道，涵盖射频发生器、真空阀件、流量计等。
• 市场地位：2021年半导体设备零部件收入占公司总营收的62%，毛利率46.8%。
• 财务表现：2021年营收29.50亿美元，净利润5.51亿美元，净利率18.7%。

Ferrotec

• 布局策略：纵向深耕陶瓷部件，同时横向拓展至其他领域。
• 产品线：涵盖石英部件、陶瓷部件、真空阀件等。
• 财务表现：2021年营收11.02亿美元，净利润2.20亿美元，净利率19.9%。

未来发展趋势

• 国产替代加速：随着半导体产能向国内转移，国内零部件厂商有望通过技术突破和市场拓展，逐步实现国产替代。
• 技术发展需求：行业对高精度、高可靠性和高稳定性零部件的需求持续增长。
• 市场集中度：海外厂商在细分品类中占据主导地位，但国内厂商通过横向拓展，有望打破格局，提升市场地位。

结论

半导体设备零部件行业具有广阔的市场空间和较高的技术门槛，国产化率尚有较大提升空间。随着全球半导体产能向中国大陆转移，国内厂商有望借助国产替代的东风，通过夯实核心产品竞争力和拓展业务版图，实现业绩增长和行业地位提升。