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微导纳米公司点评报告总结

东吴证券评级：“增持”，动态PE 17/13/12倍

核心事件概述： 微导纳米在CIPA 2024论坛首次发布自主研发的“先进封装低温薄膜应用解决方案”及低温PECVD、PEALD、ALD等设备。

技术亮点与产品线扩展

• 先进封装低温解决方案： 针对25D、3D先进封装低温特殊需求，在50~200°C实现高均匀性、高质量薄膜沉积。
• 低温设备发布：
  • iTronix LTP系列低温PECVD：适用于混合键合ILD、低k阻挡层、BVR薄膜。
  • iTomic PE系列PEALD：用于高深宽比TSV衬垫形成均匀致密绝缘层。
  • iTonic MeT系列金属/氮化物ALD：保护TSV铜扩散，提高可靠性。
• 产品线全覆盖： 已覆盖逻辑/存储芯片、化合物半导体、新型显示等领域所需薄膜沉积应用。
• 材料覆盖广泛： 支持超过15种薄膜材料（如HfO2，Al2O3等）。
• 市场布局： 积极推进新产品市场导入，构建先发优势。

市场竞争力分析

• ALD领域龙头： 工艺覆盖率约70-80%，掌握T-ALD HiK/MeT及PEALD SiO2/SiN材料，在中国市场领先地位。
• **PECVD领域差异化：**专注于高温硬掩模AHM工艺，市占率约20%。
• 差异化竞争优势： 从美国半导体设备发展看，市场开放性高，微导纳米有望借ALD布局，拓展CVD业务成长空间。

盈利预测与投资评级

• 财务预测：
  • 2024-2026年归母净利润预计：63亿 / 83亿 / 92亿元，同比增长率：61% / 25% / 11%。
  • 最新EPS摊薄：6.32元 / 9.49元 / 11.45元。
• 估值： 当前股价对应动态PE：17倍 / 13倍 / 12倍。
• 评级： 维持“增持”。

风险提示： 下游扩产/新品拓展进度不及预期。