半导体设备行业专题报告二：全球逻辑NANDDRAM扩产周期下，TOP5半导体设备企业成长复盘，先进工艺塑造成长天花板-20231022-安信证券-29页_1mb

半导体设备行业专题报告总结

核心内容概览

本报告对全球逻辑、NAND、DRAM三大核心下游的技术变革和扩产周期进行了复盘，并分析了全球TOP5半导体设备企业的成长路径，指出先进工艺突破是半导体设备企业成长天花板的关键。同时，报告对国内市场进行了分析，强调国产替代的成效及未来在先进工艺领域的潜力。

主要观点与关键信息

全球市场：逻辑围绕“摩尔定律”，存储围绕“3D化+价格周期”

• 市场增长：2009-2022年全球半导体产品市场销售额从2263亿美元增长至5735亿美元，复合年增速为7.4%。
• 设备增速：全球TOP5设备企业（ASML、应用材料、泛林、科磊、东京电子）收入复合增速分别为19.2%、13.4%、23.4%、9.3%、14.9%，均高于终端产品增速。
• 逻辑扩产：2018-2022年，先进工艺（7nm/5nm）扩产驱动设备公司实现更陡峭成长曲线，ASML/AMAT/Lam/TEL/KLA逻辑/代工销售收入复合增速分别为28%、37%、41%、41%、48%。
• 存储扩产：NAND扩产由3D化技术驱动，DRAM扩产则围绕价格周期波动，波动性较大。

龙头企业复盘

• ASML：光刻设备龙头，受益于EUV技术垄断，2017-2022年EUV设备销售收入复合增速达46%，占设备系统收入比例从17%提升至46%。
• AMAT：平台化龙头，全球逻辑扩产最大设备供应商，2022年逻辑/代工销售收入达135.7亿美元，占设备收入比例70%。
• Lam：深耕刻蚀和沉积，NAND扩产最大设备供应商，2022年NAND相关销售收入达74.7亿美元，占比39%。
• TEL：日系平台化龙头，先进逻辑扩产成为主要增长引擎，2022年半导体设备销售收入中逻辑/代工占比62.5%。
• KLA：量检测设备龙头，2018-2022年逻辑/代工收入CAGR达48.3%，增速领先。

中国市场：国产替代成效显著，先进工艺突破是关键

• 内资扩产：目前内资12吋在建晶圆厂合计规划产能达175万片/月，投资金额超1000亿美元，其中NAND/DRAM/逻辑投资占比分别为21%/24%/54%。
• 国产替代：2018-2022年，中国大陆国产半导体设备收入CAGR达54%，国产比例从5.2%提升至14.5%。
• 重点企业表现：
  • 北方华创：半导体设备相关收入CAGR达159%
  • 中微公司：CAGR达29%
  • 盛美上海：CAGR达51%
  • 拓荆科技：CAGR达122%
  • 华海清科：CAGR达159%
  • 芯源微：CAGR达60%
• 量检测设备：国产化率不足5%，仍处于0-1突破阶段，推荐精测电子、中科飞测。

投资建议

• 逻辑设备：推荐北方华创、拓荆科技。
• 存储设备：推荐中微公司、拓荆科技。
• 其他关注：华海清科、芯源微、盛美上海、万业企业、至纯科技。

风险提示

1. 终端需求复苏不及预期。
2. 中美科技博弈影响海外设备供应。
3. 国产设备替代推进不及预期。
4. 统计误差导致数据失真。
5. 国内产业发展与全球存在差异。

图表与数据概览

• 图1：2009-2022全球半导体市场销售额增长。
• 图2：2009-2022全球半导体产业链主要公司营收复合增速对比。
• 图3：2004-2022全球头部半导体设备企业销售规模增长。
• 图4：2008Q3-2023Q2台积电各工艺节点营收变化。
• 图5：台积电平均月产能及资本支出变化。
• 图6：不同制程逻辑芯片扩产对应设备投资额。
• 图7：逻辑扩产对ASML/AMAT/Lam/TEL/KLA设备销售收入增速影响。
• 图8：全球NAND发展路线图。
• 图9：3D NAND光刻/干法刻蚀/沉积设备市场规模预测。
• 图10：逻辑/DRAM/NAND先进工艺阶段光刻机用量测算。
• 图11：NAND价格周期与半导体设备企业NAND相关收入周期对比。
• 图12：DRAM价格周期与半导体设备企业DRAM相关收入周期对比。
• 图13：全球TOP5中国大陆销售收入与国产设备收入比例对比。

表格数据概览

• 表1：内资12吋晶圆厂在建产线汇总，2023Q4更新。
• 表2：2018-2022年国产半导体设备企业营收及增速。
• 表3：主要前道设备公司产品线及客户拓展进展。

总结

全球半导体设备行业在逻辑、NAND、DRAM扩产周期中表现出显著增长，尤其是先进工艺推动下的设备需求激增。全球TOP5企业中，ASML因EUV垄断受益最大，AMAT因逻辑扩产成为最大设备供应商，Lam因NAND扩产成为最大NAND设备供应商，KLA因逻辑工艺需求增长最快。国内市场在国产替代方面取得显著进展，尤其是北方华创、中微公司、拓荆科技等企业表现突出。未来，随着国产设备在先进工艺领域的突破，国内半导体设备企业有望进一步提升市场份额。