深度报告-20230523-安信证券-中科飞测-688361.SH-国产半导体量测设备龙头_引领瓶颈环节国产替代_33页_2mb

安信证券研究报告总结：中科飞测-U（688361.SH）

公司概况

中科飞测成立于2014年，主营半导体量测设备，产品包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测与薄膜膜厚量测设备，性能已打破国际垄断，在28nm及以上制程实现应用。实际控制人为陈鲁夫妇（占股30.54%），控股股东为苏州翌明。公司获华为哈勃、中科院微电子所等背景投资支持。

核心技术与产品优势

1. 无图形晶圆缺陷检测：S1（60nm灵敏度/100wph）、S2（23nm灵敏度/25wph）；
2. 图形晶圆检测：0.5μm分辨率，80wph吞吐量；
3. 三维形貌量测：0.1nm重复精度，满足2Xnm制程。

市场分析

• 全球市场：2021年全球前道量测设备市场规模114亿美元，科磊（51%市占率）、应用材料（12%）主导。
• 国内市场：2020年国产化率仅2%，沪制企业中微公司、上海睿励、上海精测、中科飞测加速替代。

财务预测与估值

• 盈利预测：2023-2025年营收分别为735/1154/1561亿元，净利润101/184/333亿元；
• 估值：2024年按PS2000倍，目标价7220元，较现价7030元有13.4%上行空间。

主要风险

1. 技术迭代风险：需持续跟进国际厂商升级；
2. 下游需求波动：半导体周期波动影响需求；
3. 国际贸易摩擦：可能影响上游材料与出口；
4. 市场竞争加剧：国内厂商快速成长带来价格与份额竞争压力。

投资建议

首次覆盖“买入-A”评级，12个月目标价7220元，建议积极配置。