20221124-光大证券-半导体量测设备行业跟踪_量测设备空间大格局好_上海精测_中科飞测等国产品牌蓄势待发_13页_957kb

行业研究总结：半导体量测设备行业

核心内容概述

半导体量测设备是半导体制造过程中第四大制程设备环节，全球市场规模在2021年达到104亿美元，占WFE市场11%。该环节由KLA、Applied Materials、日立高科技等美日欧企业主导，其中KLA市场份额超过50%。尽管该领域国产化率较低，但近年来国内涌现出一批优质国产量测设备品牌，如上海精测半导体、中科飞测、天准科技、赛腾股份等，正逐步实现技术突破和市场拓展。

主要观点

• 市场规模与排名：量测设备市场规模小于刻蚀、薄膜沉积、光刻机，但大于清洗、CMP、离子注入等环节。2021年全球市场规模为104亿美元，KLA以92.12亿美元的收入位居全球量测设备行业第一。
• 市场垄断格局：国内外半导体量测设备市场均被美日欧企业垄断，美国厂商占据64%以上市场份额，日本和欧洲分别占据约11%和3%。
• 国产化率低：2021年国内量测设备龙头企业如上海精测、中科飞测销售收入分别为1.11亿元和3.61亿元，国产设备市场份额偏低，仍以进口品牌为主。
• 国产品牌崛起：国内企业如中科飞测、上海精测、睿励、天准科技、赛腾股份等通过自主研发和并购布局，逐步进入半导体量测市场，获得国内一线客户的订单或验证。
• 投资建议：建议关注中微公司、精测电子、天准科技、赛腾股份等前道量测设备厂商，其在技术、市场拓展和业绩增长方面表现突出。

关键信息

1. 全球市场格局

• 主要厂商：KLA、Applied Materials、日立高科技、Lasertec、Onto、ASML、Nova、Camtek等。
• 市场份额：KLA占全球量测设备市场约50%，美国厂商合计占64%，日本占11%，欧洲占3%。
• 收入与毛利率：KLA 2021年收入82亿美元，毛利率61%，净利率36%。

2. 国内市场情况

• 主要客户：SMIC、长江存储、士兰微、芯恩、晋华、长电先进、上海新昇等。
• 国产设备供给率：前道量测领域国产设备供给率较低，仍依赖进口品牌。
• 中标数据：2021年底，国内晶圆制造产线中，KLA、Onto、AMAT等进口品牌占据主导地位，国产厂商如中科飞测、上海精测仅占1.9%及0.5%的市场份额。

3. 国产品牌发展情况

• 主要企业：上海精测半导体、中科飞测、睿励、天准科技、赛腾股份、埃芯半导体、南京中安、御微半导体等。
• 技术突破：上海精测已取得膜厚、电子束、明场缺陷检测、OCD量测等设备的批量订单或验证，天准科技通过收购MueTec布局OCD、Overlay等测量技术，赛腾股份通过收购Optima切入晶圆检测领域。
• 收入增长：中科飞测销售收入从2018年的0.30亿元增长至2021年的3.61亿元，上海精测从2018年的0.026亿元增长至2021年的1.11亿元，2022年11月中标3.38亿元订单。

4. 投资建议

• 推荐企业：中微公司、精测电子、天准科技、赛腾股份。
• 中微公司：参股睿励，2021年睿励销售收入0.41亿元，布局LPCVD、ALD、Epi等设备。
• 天准科技：自主研发精密测量仪器，2021年半导体业务营收2.9亿元，2022H1营收2.2亿元，增速达53.86%。
• 赛腾股份：收购日本Optima，布局晶圆检测，2021年半导体板块营收2.17亿元，毛利率达45%。

风险提示

• 外部环境不确定性：供应链不稳定、进口原材料采购周期延长、交付周期延长等。
• 技术迭代风险：下游客户对设备及性能需求变化快，若企业不能及时跟进，可能影响市场竞争力。
• 美国限制出口：美国可能进一步限制关键设备和零部件的出口，对国产厂商造成影响。

结论

半导体量测设备行业在全球市场中占据重要地位，但目前仍由美日欧企业主导。国内企业正通过技术突破和并购布局，逐步提升市场份额，未来有望在该领域实现更大发展。建议投资者关注具备技术实力和市场拓展能力的国产品牌，同时警惕外部环境和技术迭代带来的风险。