电子设备行业专题研究：半导体材料系列之二：电子气体，集成电路的血液_23页_2mb

半导体材料系列之二：电子气体，集成电路的血液

核心内容

电子气体是半导体制造过程中不可或缺的原材料，几乎贯穿整个集成电路制造工艺流程，包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键环节。其质量直接影响晶圆厂制造技术指标和良率，对气体纯度和杂质含量有严格要求。电子气体分为电子大宗气体和电子特种气体，其中电子特种气体市场占比更高，是半导体材料中仅次于硅片的重要组成部分。

根据TECHCET数据，2021年全球电子气体市场规模约为62.5亿美元，同比增长7%以上。其中，电子大宗气体市场规模约17.1亿美元，占27.4%；电子特种气体市场规模约45.3亿美元，占72.5%。预计到2025年，全球电子气体市场规模将超过80亿美元，其中电子特种气体将达60亿美元，年复合增长率（CAGR）达7.3%。中国电子特气市场增速显著高于全球平均水平，2020年市场规模约150亿元，预计2024年将达到230亿元，全球占比将提升至60%。

主要观点

• 电子气体的重要性：电子气体是集成电路制造的关键材料，其纯度和杂质含量直接影响制造质量和良率。
• 市场格局：目前全球电子气体市场由海外四家头部企业主导，合计市占率超过90%。国内厂商正通过技术突破和产能扩张逐步提升市场份额。
• 技术突破与国产替代：国内电子气体企业如南大光电、金宏气体、华特气体等在关键特种气体领域实现突破，部分产品达到国际先进水平，逐步打破海外垄断。
• 市场增长潜力：随着半导体产业链的快速发展，电子气体市场将持续增长，国内厂商有望受益于国产替代趋势，享受行业红利。

关键信息

市场规模

• 2021年全球电子气体市场规模为62.5亿美元，同比增长7%以上。
• 电子大宗气体市场约17.1亿美元，增速为3.3%。
• 电子特种气体市场约45.3亿美元，增速为8.4%。
• 预计2025年全球电子气体市场规模将超80亿美元，其中电子特种气体将达60亿美元。
• 中国电子特气市场预计2024年将达到230亿元，全球占比将达60%。

电子气体应用

• 电子气体广泛应用于沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工艺环节。
• 氢类电子特气包括磷烷、砷烷，氟类电子特气包括三氟化氮、六氟化硫等。
• 光刻过程中使用氮气、氢气、二氧化碳等气体。
• 刻蚀过程中使用氟碳化合物、氯气等气体。
• 掺杂过程中使用三氯化硼、磷化氢、砷化氢等气体。

国内厂商进展

• 南大光电：实现高纯磷烷、砷烷等产品的国产化，三氟化氮产能达4000吨，位居国内第二、全球第三。
• 金宏气体：拥有超纯氨、高纯氧化亚氮等产品，已进入中芯国际、SK海力士等客户供应链。
• 华特气体：通过ASML和GIGAPHOTON认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司，客户覆盖全球领先的半导体企业。

配置建议

• 谨慎看好：南大光电（300346）、金宏气体（688106）、凯美特气（002549）、华特气体（688268）。
• 南大光电：技术积累深厚，产品纯度达6N级别，毛利率稳定，费用率下降。
• 凯美特气：产品实现多单销售，毛利率增长，费用率下降。
• 金宏气体：营收增长显著，特种气体业务占比高，研发投入加大。
• 华特气体：客户覆盖广泛，产品通过国际认证，毛利率稳定，研发投入持续。

风险提示

• 下游市场需求不及预期。
• 新产品、新业务导入进度不及预期。
• 扩产进度不及预期。