半导体设备行业系列报告之九_自主可控向上游深化_半导体零部件有望复刻设备成长-250121-申万宏源_35页_2mb

半导体零部件行业总结

核心内容

半导体零部件作为芯片制造产业链上游的重要组成部分，其自主可控程度直接关系到整个半导体设备行业的国产化进程。随着美国等国家对先进制程芯片制造能力的限制，半导体零部件国产替代需求日益迫切，市场空间广阔。零部件占半导体设备营业成本的约90%，市场规模约为设备市场的40%，且随着设备市场扩张，零部件市场同步增长。

主要观点

• 国产替代加速：由于贸易限制，国内晶圆厂对国产零部件的接受度提高，推动零部件国产化率快速提升。
• 技术壁垒高：零部件产品具有高精度、高洁净、高耐腐蚀等要求，技术难度高，国产替代仍需时间。
• 市场潜力大：高端零部件仍存在较大国产替代空间，尤其在射频电源、EFEM、Gas Box等关键领域。
• 行业增长快：刻蚀、薄膜沉积等设备市场增速最快，带动相关零部件需求增长。

关键信息

• 市场规模：2022年全球半导体零部件市场规模约3861亿元，中国大陆市场占比约1141亿元。
• 零部件分类：包括机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类等，其中机械类价值量最大。
• 技术难点：不同品类零部件面临不同技术挑战，如陶瓷件需满足热介电、耐腐蚀等要求；射频电源涉及高精度、高稳定性等。
• 重点产品：如Showerhead、硅电极、陶瓷加热器、静电卡盘、EFEM、Gas Box等，是半导体设备中的关键零部件。
• 国产替代趋势：国内企业如江丰电子、珂玛科技、先锋精科、富创精密、新莱应材、正帆科技、英杰电气等在零部件领域具备一定竞争力，部分产品已实现量产。

零部件种类详解

机械类

• 价值占比：20%-40%，占设备成本最大部分。
• 分类：工艺件与结构件。
• 关键产品：匀气盘、硅电极、陶瓷加热器、静电卡盘、EFEM等。
• 技术难点：加工精度高、批量小、多品种、工艺复杂等。

电气类

• 价值占比：10%-20%。
• 关键产品：射频电源，是刻蚀、沉积等设备中不可或缺的零部件。
• 技术难点：输出功率稳定性、电压质量、波形质量等，技术壁垒高。

机电一体类

• 价值占比：10%-25%。
• 关键产品：EFEM、温控器、工件台等。
• 技术难点：需满足真空度、洁净度、一致性等要求，部分产品如EFEM具备较高的设备属性。

气体/液体/真空系统类

• 价值占比：10%-30%。
• 关键产品：Gas Box、真空阀、管阀等。
• 技术难点：密封性、流量控制、耐腐蚀性等，Gas Box涉及高定制化和高技术要求。

重点个股分析

江丰电子

• 业务结构：以靶材为主，零部件业务快速增长。
• 市场占比：2024年零部件业务营收占比达24%。
• 业绩表现：9M24归母净利润2.9亿元，同比增长49%。
• 研发进展：重点布局半导体零部件，如Showerhead、陶瓷材料等，已进入14nm以下制程。

珂玛科技

• 主营业务：陶瓷零部件及表面处理服务。
• 市场占比：2023年泛半导体营收占比达66%。
• 业绩表现：9M24归母净利润2.3亿元，同比增长295%。
• 产品优势：陶瓷加热器、静电卡盘已量产，具备高技术壁垒。

先锋精科

• 业务结构：以金属零部件为主，关键工艺部件营收占比超40%。
• 客户资源：与中微公司、北方华创等建立稳定合作关系。
• 业绩表现：9M24归母净利润1.8亿元，同比增长249%。

富创精密

• 业务布局：涵盖机械类、机电一体类、气体/液体/真空类零部件。
• 产品结构：模组产品占比快速提升，2023年模组产品营收占比达45%。
• 业绩表现：9M24归母净利润1.9亿元，同比增长43.7%。

新莱应材

• 下游应用：覆盖半导体、光伏、生物医药等领域，其中半导体产品为真空管阀。
• 业绩表现：9M24归母净利润2.0亿元，同比增长18%。
• 发展动向：加大在半导体领域的投入，提升市场份额。

正帆科技

• 业务结构：以气体/液体供应系统为主，Gas Box为增长点。
• 市场占比：2023年电子工艺设备营收占比达76%，其中集成电路领域占比最高。
• 业绩表现：9M24归母净利润3.3亿元，同比增长23%。
• 发展动向：增持子公司鸿舸半导体，推动Gas Box业务发展。

英杰电气

• 产品结构：以功率电源为主，半导体业务占比提升。
• 市场占比：2023年半导体领域营收占比达19%。
• 业绩表现：9M24归母净利润3.0亿元，同比增长8%。
• 发展动向：中微公司参股子公司，推动射频电源业务发展。

风险提示

• 行业周期性波动：半导体行业受扩产和创新周期影响，存在景气度波动风险。
• 原材料价格波动：上游原材料价格波动可能影响零部件企业的盈利能力。

总结

半导体零部件行业正处于国产替代的关键阶段，市场需求旺盛，技术壁垒高，未来增长潜力巨大。随着设备国产化率提升，零部件市场将同步扩张，国内企业有望在关键领域实现突破，逐步替代海外厂商。重点关注江丰电子、珂玛科技、先锋精科、富创精密、新莱应材、正帆科技、英杰电气等具备核心技术优势和市场拓展能力的公司。