机械设备行业专题报告：半导体清洗设备进入黄金发展期，国内企业实力强劲-20210628-长城证券-32页_1mb

报告摘要

全球半导体行业正进入新一轮快速上涨周期，由新能源汽车、物联网、5G等新兴产业推动。中国大陆在半导体行业拥有广阔的下游市场和政策支持，成为全球半导体设备需求增长的核心区域。清洗设备作为半导体制造的关键工艺设备之一，其重要性持续提升，市场需求快速增长。

全球半导体行业增长
- WSTS预测2021年全球半导体销售额将达到5272亿美元，同比增长19.7%。
- 中国大陆半导体设备需求增速显著，2020年销售额达187.2亿美元，占全球销售额的26.3%。
清洗工序的重要性
- 清洗贯穿半导体制造的多个关键工艺环节，是提高芯片良率和性能的重要步骤。
- 清洗步骤约占所有芯片制造工序的30%以上，随着技术进步和工艺复杂度提升，清洗设备需求快速增长。
清洗设备市场集中度高
- 全球半导体清洗设备市场高度集中，迪恩士（DNS）占据40%以上的市场份额。
- 国内主要企业包括盛美股份、北方华创、芯源微和至纯科技，各公司专注不同细分领域。
国产清洗设备发展迅速
- 盛美股份是国内领先的半导体清洗设备制造商，产品线丰富，技术领先，已获得国内外主流厂商的认可。
- 北方华创和芯源微在清洗设备领域也有较强实力，分别在单片及槽式清洗设备和涂胶/显影设备方面取得突破。
- 至纯科技具备8-12英寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式清洗设备的技术能力，覆盖多个下游行业。

行业前景
随着半导体制造技术的不断进步，尤其是先进制程的快速发展，清洗设备的需求将持续增长，行业进入黄金发展期。
政策支持
自2000年起，国家出台多项政策支持半导体产业发展，包括税收优惠、投融资支持、人才引进等，其中集成电路产业投资基金一期和二期分别募集资金近1400亿和2041.5亿元。
市场结构
- 全球半导体清洗设备市场高度集中，DNS、TEL、LAM、SEMES四家公司合计市占率超过90%。
- 中国大陆成为全球第三大半导体清洗设备市场，2020年销售收入占公司总收入的21.91%。
技术发展
- 湿法清洗是当前主流技术，占清洗步骤的90%以上。
- 单片清洗设备逐渐取代槽式清洗设备，成为先进制程中的主流选择。
- 盛美股份、北方华创、芯源微等公司均在清洗设备领域实现技术突破，部分产品已达到国际先进水平。
企业表现
- 盛美股份2020年营业收入达10.07亿元，同比增长33.13%，净利润1.97亿元，同比增长45.88%。
- 北方华创在清洗设备领域具备较强技术实力，产品可应用于28nm及以上的单片化学清洗。
- 芯源微自主研发的清洗机Spin Scrubber设备已通过工艺验证，并获得国内多家晶圆厂的重复订单。
- 至纯科技在湿法清洗设备方面技术领先，产品应用于晶圆制造、先进封装、太阳能等多个领域。