智能制造行业全景图——半导体设备篇_38页_1mb
报告摘要
智能制造行业全景图——半导体设备篇总结
核心内容
市场空间与增长动力
- 全球市场:2018年全球半导体设备市场总规模达到645.5亿美元,同比增长14%。
- 中国市场:大陆市场为131.1亿美元,占全球市场20%,是全球第二大市场。
- 增长动力:大陆市场增速达46%,远超全球平均水平,成为全球市场增长的主要动力。
- 市场构成:半导体设备主要用于制造和封测流程,分为晶圆加工设备(核心包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备)、封装设备和检测设备。
全球竞争格局
- 高度集中:全球半导体设备市场CR5(前五名)占比75%,CR10(前十名)占比91%。
- 主要企业:应用材料、东京电子、拉姆研究、阿斯麦(ASML)和科磊(KLA)占据主导地位。
- 市场垄断:高端光刻机市场由阿斯麦主导,市占率超过67%,几乎垄断EUV市场;PVD设备市场由应用材料一家独大,占全球85%以上份额;CMP设备市场由应用材料和日本Ebara垄断,市占率接近90%。
国内发展现状与机遇
- 国产化率低:2011-2016年,我国半导体设备平均自制率仅为16%。
- 政策支持:国家出台多项政策,如“02专项”、“中国制造2025”等,推动国产设备替代。
- 国产替代加速:国内企业已在刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备和检测设备等领域取得进展,部分设备已进入国际一流代工厂产线验证。
主要观点
技术突破路径
- 由易到难:国内企业有望在清洗设备和后道检测设备上率先实现突破,如长川科技、至纯科技、盛美半导体、华峰测控等。
- 核心设备突破:晶圆加工核心设备技术难度高,但随着国家政策支持和企业研发投入增加,具备核心技术的公司如中微公司、北方华创、芯源微有望实现技术突破,享受市场红利。
行业驱动力
- 产能转移:全球半导体产能向中国大陆转移,推动设备需求增长。
- 技术升级:制程缩小和硅片尺寸升级(如从6英寸到12英寸,未来向18英寸发展)带来设备巨大需求。
- 大基金支持:国家产业投资基金(大基金)重点支持集成电路制造环节,同时兼顾设备、材料等领域,为国内企业提供了资金支持。
关键信息
主要设备分类及应用
| 设备类型 | 主要功能 | 国内代表企业 |
|---|---|---|
| 晶圆加工设备 | 氧化、光刻、刻蚀、离子注入等 | 中微公司、北方华创、芯源微、上海微电子 |
| 检测设备 | 前道(光学测量、缺陷检测)和后道(电学检测) | 华峰测控、长川科技、上海睿励、上海精测 |
| 清洗设备 | 去除硅片表面沾污 | 盛美半导体、至纯科技、北方华创 |
| 封装设备 | 封装、测试等 | 沈阳拓荆、上海精测、芯源微等 |
国内设备公司进展
| 企业 | 设备类型 | 技术阶段 | 2018年营收(亿元) |
|---|---|---|---|
| 中微公司 | 介质刻蚀机 | 7nm小批量销售,5nm验证 | 16.39 |
| 北方华创 | 氧化炉、硅刻蚀机等 | 28nm批量销售,14nm验证 | 33.24 |
| 沈阳拓荆 | PECVD设备 | 28nm批量销售,14nm验证 | - |
| 上海微电子 | 光刻机 | 90nm后道封测小批量销售 | - |
| 华海清科 | CMP设备 | 8英寸小批量销售 | - |
| 电科装备45所 | CMP设备 | 8英寸批量销售,12英寸验证 | - |
| 凯世通 | 离子注入机 | 45-22nm通过验证 | 0.60 |
| 中科信 | 离子注入机 | 45-28nm通过验证 | - |
| 长川科技 | 测试机、分选机 | 进入国内一流封测厂 | 2.16 |
| 华峰测控 | 测试机 | 进入国内一流封测厂 | - |
| 上海睿励 | 质量检测设备 | 获得三星重复订单 | - |
| 精测电子 | 质量检测设备 | 积极布局质量检测设备 | 13.90 |
| 盛美半导体 | 清洗设备 | 进入全球一流代工厂 | 5.12 |
| 至纯科技 | 清洗设备 | 中芯国际小批量销售 | 6.74 |
投资要点
- 关注企业:建议关注在清洗设备、后道检测设备领域取得突破的长川科技、至纯科技、盛美半导体、华峰测控;在晶圆加工设备领域具备技术实力的中微公司、北方华创、芯源微。
- 技术路径:国内企业有望在中低端设备实现国产替代,逐步向高端设备迈进。
- 市场机会:随着全球产能向中国大陆转移和国内政策支持,半导体设备市场将迎来快速发展期。
风险提示
- 晶圆厂投资不及预期:若大陆晶圆厂投资进度落后,可能影响设备需求增长。
- 技术进步不及预期:若国产设备研发进展缓慢,将影响替代进程。
- 竞争加剧:随着大陆市场增长,外资企业可能加大布局,导致竞争加剧。
- 先进工艺研发不及预期:若国内先进工艺研发滞后,可能影响晶圆厂扩建和设备采购节奏。
资料来源:平安证券股份有限公司、SEMI、中芯国际、大基金投资方向等。
展开完整摘要
试读结束,高清完整版pdf/doc/ppt,请点下载