建筑行业专题报告_洁净室内部各系统产业链及公司梳理_28页_3mb

报告摘要

洁净室内部各系统产业链及公司梳理总结

核心内容概述

洁净室是集成电路制造的核心基础设施，主要包括 HVAC系统、高纯工艺系统 和 工艺废气治理系统。这些系统在晶圆制造过程中起着关键作用，保障空气洁净度、高纯介质供给和工艺废气处理，直接影响产品良率和生产稳定性。随着半导体行业先进制程和存储芯片需求增长，洁净室系统迎来新一轮扩张，国产替代进程加快。

主要观点

洁净室系统的重要性：
- 洁净室是晶圆制造中硅片制造、IC晶圆制造、IC封装等关键工序的必要环境。
- AMC（空气分子污染物）对多个工艺步骤造成影响，如光刻、刻蚀、薄膜沉积等，影响良率和芯片性能。
- 洁净室系统高度集成，涵盖多个子系统，包括内部装修、电力、空调、废气治理等。
HVAC系统核心作用：
- HVAC系统是控制AMC的关键系统，包含新风机组（MAU）、风机过滤单元（FFU）和干冷盘管（DCC）。
- FFU和高效/超高效过滤器是核心设备，直接影响洁净度和能耗。
- 国内企业如美埃科技、创元科技、再升科技等在滤材、设备、系统集成方面逐步实现国产替代。
高纯工艺系统保障良率：
- 包括高纯气体、化学品和超纯水系统，提供稳定、无污染的介质。
- 海外企业在高纯特气、化学品系统方面占据优势，但国内企业如正帆科技、至纯科技、新莱应材正逐步突破。
- 超纯水系统技术壁垒高，需长期稳定运行，国内企业如中电环境具备一定优势。
工艺废气治理系统复杂且重要：
- 半导体废气成分复杂，包括剧毒、自燃和易爆气体，需与工艺同步治理。
- 盛剑科技在废气处理设备和系统集成方面布局较完整，正加速对标海外企业。
投资建议：
- 推荐标的：亚翔集成、柏诚股份、圣晖集成。
- 重点推荐：美埃科技（FFU+过滤器）、正帆科技（高纯工艺系统）、至纯科技（高纯工艺系统）、盛剑科技（废气治理系统）。

关键信息梳理

1. 洁净室系统结构

六大板块：内部装修、空调机械、生产环境清洁、电力及仪控、防微振、消防及安全。
核心系统：HVAC系统（控制颗粒和AMC）、高纯工艺系统（提供高纯介质）、工艺废气治理系统（处理废气防止二次污染）。

2. HVAC系统产业链

上游：滤材（玻纤、PTFE、超细纤维棉等）、风机、铝型材等。
中游：FFU、过滤器、空气净化设备。
下游：洁净室系统集成商（如亚翔集成、圣晖集成、柏诚股份、深桑达A）。

3. 高纯工艺系统

主要系统：高纯特气系统、化学品供应系统、超纯水系统。
关键设备：特气柜、分流箱、真空泵、管路系统等。
主要企业：正帆科技、至纯科技、新莱应材等。

4. 工艺废气治理系统

废气类型：酸性气体、碱性气体、有机废气、工艺废气等。
治理方式：水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等。
主要企业：盛剑科技，具备Local Scrubber、排气系统、中央治理系统等完整布局。

5. 国内企业竞争力分析

美埃科技：兼具FFU和过滤器生产能力，毛利率较高，技术指标领先。
再升科技：专注于滤料制造，已获海外龙头认证，毛利率高。
创元科技：洁净室系统集成商，旗下江苏苏净业务覆盖多个系统。
正帆科技：高纯工艺系统集成商，2026H1新签订单增长显著，市占率提升。
至纯科技：高纯特气系统龙头，2025年市占率接近50%，但受美国制裁影响业绩承压。
深桑达A：国内少有的洁净室总包商，布局超纯水系统，海外拓展加速。
盛剑科技：废气治理系统厂商，客户优质，布局完整。

6. 投资策略与财务指标

重点公司：亚翔集成、柏诚股份、圣晖集成、美埃科技、正帆科技、至纯科技、新莱应材、盛剑科技。
财务表现：
- 亚翔集成：2026H1营收增长，具备CFD技术优势。
- 柏诚股份：聚焦国内半导体洁净室建设，高毛利二次配业务增长。
- 圣晖集成：东南亚布局，海外业务发展较快。
- 美埃科技：2026H1营收增长，毛利率稳定。
- 正帆科技：2026H1订单大幅增长，毛利率提升。
- 至纯科技：市占率领先，但受美国制裁影响。
- 新莱应材：已获美国前二半导体设备厂商认证，海外业务拓展。
- 盛剑科技：废气治理设备和系统集成，客户优质。

风险提示

下游半导体行业资本开支不及预期。
行业竞争加剧，毛利率可能下行。
项目型业务现金流与回款风险。
技术验证与先进制程需求不及预期。

总结

洁净室系统是半导体制造的底层基础设施，其三大核心系统（HVAC、高纯工艺、工艺废气治理）在保障良率、环境控制和工艺安全方面至关重要。随着国内半导体扩产周期的推进，具备核心技术、客户认证和本地化能力的国产企业有望在各环节实现突破。建议重点关注具备系统集成能力、技术优势和客户黏性的企业，如美埃科技、正帆科技、至纯科技、盛剑科技等。

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