光刻机行业海外硬科技龙头复盘研究系列之九：国之重器路虽远行则将至_31页_1mb

光刻机行业总结

核心内容

光刻机是半导体制造中的核心设备，被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”，其工艺水平直接决定芯片的制程和性能。光刻机分为直写光刻机与掩膜光刻机两大类，其中掩膜光刻机为主流，又可分为接近式、接触式和投影式，投影式光刻机技术更为先进。光刻机主要分为i-line、KrF、ArF、ArFi和EUV五大类，其中EUV为超高端光刻机，具有极高的技术壁垒。

主要观点

• 光刻是半导体制造中最复杂、关键的步骤，占IC生产环节约50%，芯片成本的1/3。
• 光刻机的核心性能指标包括分辨率、套刻精度和生产效率，其中分辨率是最重要的技术指标，决定芯片制程。
• 全球光刻机市场由ASML、Nikon和Canon主导，ASML市场份额高达82.1%，其在EUV、ArFi和ArF领域占据主导地位。
• 国内光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国内唯一光刻机巨头，其余企业如北京华卓精科、北京科益虹源等也在发展。

关键信息

光刻机分类

• 掩膜光刻机：包括UV、DUV、EUV三种光源类型，适用于不同制程。
• 直写光刻机：无掩膜，适用于IC前道制造、FPD制造等领域，但存在精度与产能效率较低的问题。

光刻机技术指标

• 分辨率：决定制程，EUV光刻机分辨率可达13.5nm。
• 套刻精度：影响芯片良率。
• 生产效率：影响产能及经济性。

光刻机产业链

• 上游：包括光源系统、物镜系统、对准系统、浸没系统等。
• 中游：光刻机的生产制造。
• 下游：芯片制造、功率器件制造、封装、LED与MEMS制造等。

全球光刻机市场

• 全球光刻机市场规模持续增长，2022年达258.4亿美元，2023年增至271.3亿美元，预计2024年达295.7亿美元。
• 2022年全球光刻机销售结构中，KrF和i-line占比约71.5%，EUV占比7.3%。
• ASML在高端光刻机市场占据绝对优势，2022年出货量达345台，占全球市场份额82.1%。

ASML发展历程

• 1984年成立，1986年与卡尔蔡司建立合作关系。
• 1990年代推出PAS5500，奠定行业地位。
• 2000年代推出双工作台和浸入式光刻技术，成为行业龙头。
• 2010年代推出EUV光刻机，巩固其在全球光刻机市场的领先地位。
• 2020年代进入HighNA时代，进一步提升分辨率和晶体管密度。

国内光刻机企业

• 上海微电子：国内唯一光刻机巨头，SSX600系列光刻机代表其技术突破，可满足90nm及以下制程需求。
• 炬光科技：深耕激光元器件，布局激光雷达、泛半导体、医疗健康等多产业。
• 茂来光学：在精密光学领域具有竞争力，实现九项核心技术产业化。
• 福晶科技：光学晶体及激光器件龙头，提供一站式服务。
• 波长光电：激光光学元件主要供应商，具备为国产光刻机提供配套的能力。

投资策略

• 光刻机行业是半导体制造的核心环节，技术壁垒高，存在“卡脖子”问题。
• 国内光刻机行业有望通过技术攻坚和客户联合开发实现弯道超车。
• 关注上海微电子等企业的客户突破与产品突破，受益标的包括福晶科技、茂来光学、炬光科技、波长光电等。

风险提示

• 技术迭代风险：EUV等技术持续演进，企业需不断投入研发。
• 行业景气度下行：受经济环境影响，市场需求可能下降。
• 行业竞争加剧：国内外企业竞争激烈，技术与成本优势决定市场份额。
• 中美贸易摩擦加剧：可能影响供应链和市场拓展。

国内政策支持

• 政府出台多项政策支持半导体产业发展，包括资金支持、税收优惠等。
• 2022年中国光刻机市场规模为147.82亿元，需求远大于供给。
• 上海微电子、炬光科技、茂来光学、福晶科技、波长光电等企业在不同领域取得一定进展，未来有望实现技术突破。

产业链协同

• ASML通过不断研发投入和产业链上下游收购，巩固其龙头地位。
• 国内企业也应重视产业链协同，通过并购或合作构建企业生态圈，提升整体竞争力。

技术发展趋势

• EUV光刻机是未来光刻技术的重要发展方向，具有高分辨率和高晶体管密度。
• 光刻机未来将向更小的制程、更高的精度和更高效的生产方向发展。

未来展望

• ASML预计在2025年实现年销售额300亿欧元至400亿欧元，毛利率约54%-56%。
• 2030年有望达到年销售额440亿欧元至600亿欧元，毛利率约56%-60%。
• 国内光刻机企业有望通过技术突破和政策支持，逐步缩小与国际巨头的差距，实现国产替代。

行业评级

• 公司投资评级：基于未来6个月相对市场基准指数的表现。

  • 强烈推荐：收益率高于市场基准15%以上。
  • 推荐：收益率在5%-15%之间。
  • 中性：收益率在-5%至5%之间。
  • 回避：收益率低于市场基准5%以上。

• 行业投资评级：基于未来6个月行业指数相对市场基准指数的表现。

  • 看好：收益率高于市场基准5%以上。
  • 中性：收益率在-5%至5%之间。
  • 看淡：收益率低于市场基准5%以上。

分析师信息

• 刘航：东兴证券电子行业首席分析师，复旦大学工学硕士，2022年加入东兴证券研究所，具有丰富的行业研究经验。

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