> **来源：[研报客](https://pc.yanbaoke.cn)** # 光刻机零部件国产化机遇分析 ## 投资要点 光刻机是半导体设备的关键核心工具，面对当前海外封锁加剧的形势，其关键零部件从海外采购日趋困难。国内正积极推广国产光刻机应用，国产替代进程加速，相关零部件企业有望迎来高速增长。 ## 超预期驱动因素 1. 海外制裁落地将提升采购难度，加速国产替代紧迫性。 2. 国内扶持政策推进，促进国产光刻机在量产线的应用，加快产业链迭代。 3. 先进工艺作为半导体发展的关键，光刻机成为重中之重。 ## 检验与催化 - 催化剂：产业政策出台、海外限制落地、晶圆厂扩产、国产替代加速。 - 检验指标：政策落地、供应链订单、晶圆厂扩产规划。 ## 投资观点 我们认为光刻机是推进半导体设备国产化的“最后一块拼图”，国产化进程具备确定性。尽管目前国产光刻机储备充足，但并不会影响零部件企业的国产化突破。 ## 核心建议关注板块 - 光刻机光学元器件环节企业：茂莱光学、波长光电 ## 风险提示 - 半导体下游需求下滑 - 国产化进度不及预期 - 政策变动 - 汇率波动 **行业评级：看好（维持）**