【研报】半导体前道检测设备行业专题报告：美国科磊龙头优势明显，国产前道检测设备迎头追赶-20200910（29页）_1mb

半导体前道检测设备行业专题报告总结

核心内容

本报告聚焦全球半导体行业进入上行周期，以及中国大陆在半导体设备市场中的崛起趋势。核心内容包括：

• 全球半导体行业增长：WSTS预测2020年全球半导体行业销售额将达4260亿美元，同比增长3.3%，其中存储器增长15%，逻辑IC增长2.9%。2021年全球半导体行业预计增长6.2%，存储器增长将超过10%。
• 中国大陆半导体市场增长：中国大陆半导体设备销售额保持全球第二大市场地位，2019年销售额为134.5亿美元。中国大陆半导体设备市场增速高于全球平均水平。
• 政策与资本支持：国家自2000年起出台多项政策支持本土半导体产业发展，包括税收优惠、投融资支持、研发补贴等。2014年设立的集成电路产业投资基金一期和二期分别募集资金约1400亿和2041.5亿。
• 半导体检测重要性提升：随着摩尔定律推动芯片复杂化，检测设备需求增加。前道检测设备约占全球半导体制造设备的13%，科磊半导体（KLA）占据全球前道检测设备市场约52%的份额。
• 国产前道检测设备发展：中国大陆半导体前道检测设备厂商正积极追赶，重点企业包括睿励科学仪器（上海）、中科飞测、上海精测和赛腾股份。

主要观点

• 行业周期性与新兴需求：半导体行业周期性较强，由下游产品更新迭代驱动。5G手机、自动驾驶和数据中心等新兴领域将推动下一轮增长。
• 全球产业转移趋势：随着中国大陆下游电子产品需求增长和政策支持，半导体产业中心正向中国大陆转移。
• 科磊半导体（KLA）的龙头地位：科磊半导体是全球前道检测设备龙头，市场份额约6%，其产品广泛应用于全球领先半导体制造企业。
• 国产设备进口替代：尽管国产设备在技术上仍与国际龙头存在差距，但部分企业在特定领域已实现小批量设备进入国内外领先存储和逻辑厂，进口替代趋势明显。
• 投资与研发支持：中国大陆晶圆厂投资加速，带动国产设备需求增长。同时，政策和资本支持为国产设备厂商提供了良好的发展环境。

关键信息

• 全球半导体设备市场：2019年全球半导体制造设备销售额达598亿美元，2020年预计增长至632亿美元，2021年有望实现两位数增长。
• 中国大陆晶圆厂投资：截至2019年底，中国大陆12英寸晶圆制造厂装机产能约90万片，8英寸约100万片，6英寸约230万片。
• 前道检测设备市场：根据SEMI预测，2020年和2021年国内前道检测设备市场分别约为18.0亿美元和17.3亿美元。
• 重点企业进展：
  • 睿励科学仪器（上海）：自主研发12英寸光学测量设备，已应用于28纳米芯片生产线，并进入三星和长江存储生产线。
  • 中科飞测：与中芯国际、长江存储等国内领先企业合作，产品已进入多个制造环节。
  • 上海精测：聚焦椭圆偏振技术，膜厚测量设备已进入长江存储生产线。
  • 赛腾股份：通过并购Optima株式会社，切入国内半导体前道缺陷检测设备领域，Optima设备已获得上海新昇半导体订单。

风险提示

• 贸易战持续影响：可能影响设备进口及供应链稳定性。
• 政策变动风险：政策调整可能对行业发展产生不确定性。
• 行业景气度不及预期：半导体行业增长可能受外部因素影响。
• 行业竞争加剧：国内外企业竞争可能对国产设备企业造成压力。
• 晶圆厂资本开支不及预期：若晶圆厂投资放缓，将影响设备需求。
• 订单不及预期：设备厂商可能面临订单不足的风险。

目录结构

1. 新兴领域需求旺盛，半导体行业进入上行周期

   • 5G手机、自动驾驶和数据中心等新兴领域将是主要驱动力
   • 中国大陆半导体增速明显高于世界水平，但自给率依然较低

2. 中国大陆晶圆厂资本开支加速扩张，国产设备进口替代势在必行

   • 半导体先进制程发展驱动设备支出加速增长
   • 本土晶圆厂数量快速增长，国产半导体设备发展进入景气周期

3. 半导体检测重要性不断提升，前道检测领域KLA龙头优势明显

   • 半导体检测重要性不断提升
   • 科磊半导体（KLA）-全球半导体前道检测先驱

4. 国产前道检测设备迎头追赶

   • 睿励科学仪器（上海）-国产半导体前道光学检测设备领跑者
   • 中科飞测-中科院深入合作企业，已进入国内领先逻辑和存储厂
   • 上海精测-聚焦椭圆偏振技术，膜厚量测产品已进入领先存储厂生产线
   • 赛腾股份-并购Optima，强势切入国内半导体前道缺陷检测设备领域

5. 风险提示

图表目录

• 图1：半导体功能与结构细分
• 图2：2018年全球半导体市场产品结构
• 图3：半导体产业链
• 图4：半导体制造工艺流程
• 图5：全球半导体销售额（百万美元）
• 图6：中国大陆集成电路增速与世界半导体增速比较
• 图7：中国大陆集成电路进出口占比
• 图8：全球半导体设备销售额（十亿美元）
• 图9：半导体核心产业链设备销售（十亿美元）
• 图10：细分半导体制造设备占比
• 图11：晶圆厂设备投资随制程增长趋势
• 图12：细分中芯国际生产线投资费用占比
• 图13：全球分区域半导体设备支出预测（10亿美元）
• 图14：国产半导体设备销售额（亿元）
• 图15：细分领域半导体设备销售额及增速（亿元）
• 图16：半导体设计、生产过程检测设备运用
• 图17：半导体缺陷检测
• 图18：半导体量测
• 图19：2019过程控制设备厂商销售额估计（百万美元）
• 图20：半导体过程控制设备厂商市场份额统计
• 图21：科磊半导体主营业务收入构成按产品（百万美元）
• 图22：科磊半导体营业收入及增速
• 图23：科磊半导体归母净利润及增速
• 图24：2019年科磊半导体营业收入构成按地区分类
• 图25：科磊半导体盈利能力
• 图26：科磊半导体费用率

表格目录

• 表1: 中国大陆集成电路主要法律及政策
• 表2：中国大陆在建/规划晶圆厂
• 表3：全球前15大半导体设备供应商
• 表4：科磊半导体产品介绍及工艺展示
• 表5：科磊半导体并购历史
• 表6：国内半导体前道检测设备支出预测(亿美元)
• 表7：睿励科学仪器(上海)主要产品介绍
• 表8：睿励科学仪器(上海)主要财务数据(万元)
• 表9：中科飞测主要产品介绍
• 表10: 上海精测主要产品介绍
• 表11: Optima 株式会社主要产品介绍
• 表12: Optima 株式会社主要财务数据 (万元)