深度报告-20210316-天风证券-半导体行业深度研究_半导体检测设备_从前道到后道_全程保驾护航_46页_5mb

半导体检测设备行业分析总结

核心内容

半导体检测设备是半导体制造过程中不可或缺的关键环节，用于确保产品质量和良率。检测设备主要分为前道量检测和后道测试设备两大类，分别用于晶圆制造过程中的物理性、功能性检测和芯片成品的电性、功能性测试。

随着半导体行业的发展，检测设备在提升良率、降低成本和优化制造流程方面发挥着重要作用。检测设备市场需求随着新应用领域的发展、芯片集成度的提升和工艺步骤的增加而不断增长，尤其是人工智能、物联网、新能源汽车等新兴领域，对检测设备提出了更高的要求。

主要观点

• 检测设备的重要性：检测设备贯穿半导体制造的各个环节，是提升良率和保障产品质量的关键，其地位日益凸显。
• 市场趋势：随着芯片复杂度的提高和新应用的出现，检测设备市场潜力巨大，尤其是前道量检测设备，其市场增速高于全球平均水平。
• 市场规模：2020年全球检测设备市场规模约131亿美元，我国市场规模为176亿元，预计2026年将达到400亿元，CAGR为14.7%。
• 国产替代需求：由于地缘政治因素和国家政策的支持，国产替代需求迫切，国内企业正通过技术积累和投资并购逐步突破。
• 技术分类：前道量检测设备按技术原理分为光学检测和电子束检测，两者在检测过程中互补，提高检测精度和效率。

关键信息

前道量检测设备

• 市场概况：2020年全球前道量检测设备市场约69亿美元，我国市场约15亿美元。
• 细分市场：前道量检测设备包括关键尺寸量测、膜厚量测、套刻对准量测、光罩/掩膜检测、无图形晶圆检测、图形化晶圆检测和缺陷复查检测。
• 技术分类：
  • 光学检测设备：如KLA、AMAT、Hitachi等，适用于大规模晶圆检测。
  • 电子束检测设备：如KLA的eSL10TM，适用于高精度检测和缺陷分类。
• 主要厂商：
  • 国际厂商：KLA、AMAT、Hitachi、Onto Innovation。
  • 国内厂商：精测电子、中科飞测、上海睿励等，正在积极布局和突破。
• 应用案例：KLA的Surfscan®SP7XP、AMAT的Aera4、Hitachi的CG6300等。

后道测试设备

• 市场概况：2020年全球后道测试设备市场约62亿美元，我国市场约14亿美元。
• 细分市场：后道测试设备包括测试机、探针台和分选机，其中测试机占比最高（约63%）。
• 主要厂商：
  • 国际厂商：爱德万、泰瑞达、东京精密、东京电子等。
  • 国内厂商：精测电子、华峰测控、长川科技等，正在积极研发和市场拓展。
• 应用案例：爱德万的测试机、泰瑞达的测试机、东京精密的探针台、长川科技的分选机等。

投资建议

• 推荐关注：精测电子，因其在检测设备领域的技术积累和市场布局。
• 建议关注：长川科技、华峰测控，其在测试设备领域的技术突破和市场拓展。
• 联合覆盖：ASM PACIFIC，其在先进封装和光电测试领域的布局。

风险提示

• 行业周期性：半导体行业具有明显的周期性特征。
• 产业配套：国内产业配套环境仍有待进一步改善。
• 高端人才：高端技术人才相对缺乏，影响技术发展。
• 品牌影响力：国内企业规模较小，品牌影响力不足。

市场预测

• 全球市场：预计未来全球检测设备市场将继续增长，前道量检测设备增速高于后道测试设备。
• 中国市场：我国检测设备市场增速高于全球，预计2026年将达到400亿元。

技术发展趋势

• 光学检测：适用于大规模检测，速度快、成本低，但精度有限。
• 电子束检测：适用于高精度检测，分辨率高，但速度慢，主要用于研发和调试。
• AI技术应用：检测设备正逐步引入人工智能技术，提高检测效率和准确性。

总结

半导体检测设备是保障产品质量和提升良率的关键，随着新应用的涌现和芯片复杂度的提升，市场需求将持续增长。我国检测设备市场增速高于全球，国产替代需求迫切，国内企业正在通过技术积累和投资并购逐步突破。国际厂商在检测设备领域占据主导地位，但国内企业也在积极布局，有望在未来取得更大市场份额。