20180329-广发证券-半导体设备系列研究三_半导体检测设备_芯与屏相融_光与电交汇_40页_3mb

报告摘要

半导体检测设备是半导体行业唯一贯穿设计、制造、封装、应用全过程的重要组成部分，具有丰富内涵。根据SEMI数据，检测设备市场占据全球半导体设备市场的15%~20%，市场空间在60~80亿美元之间。检测设备主要分为过程工艺控制检测和半导体测试两大类，分别对应前段制程和后段测试。

过程工艺控制检测：主要用于晶圆制造过程中，包括缺陷检测、膜厚检测、线宽检测等，占检测设备市场约一半份额，主要由科磊、日立高新、应用材料等国际企业主导，其中科磊占据最大市场份额。
半导体测试：包括设计验证、CP测试（晶圆测试）和FT测试（成品测试），占另一半市场。主要由爱德万和泰瑞达主导，两者合计占据约90%的市场份额。
检测设备的重要性：检测设备在提升产品良率、降低成本、提高生产效率方面具有重要作用，是晶圆厂投资的重要组成部分。测试成本在芯片总成本中占比可达35%~55%。
检测设备的毛利率：检测设备行业毛利率普遍高于其他半导体设备，科磊毛利率达63%，爱德万和泰瑞达分别为59.6%和54.7%。
国内企业的突破：上海睿励、长川科技、精测电子等国内企业已在测试设备领域取得一定突破，其中长川科技在FT测试市场已有积累，精测电子在CP测试领域有所布局。

全球检测设备市场格局：科磊、爱德万、泰瑞达为全球检测设备行业前三强，其中科磊为工艺控制检测龙头，爱德万和泰瑞达则在CP与FT测试领域形成寡头垄断。
检测设备与晶圆厂投资同步：过程工艺控制检测设备的需求与晶圆厂投资高度同步，而测试设备的需求则主要来自设计厂商和封测厂商。
测试类型与内容：
- 参数测试：包括DC和AC参数测试，如短路测试、传输延迟测试等。
- 功能测试：用于验证芯片内部逻辑和模拟子系统是否符合预期功能。
测试设备发展趋势：
- SOC测试：需求持续增长，占全球测试设备市场的71.6%。
- 存储器测试：受存储器行业复苏影响，测试设备市场也在增长。
国内设备企业进展：
- 上海睿励：已推出针对28nm和12nm制程的光学测量设备，产品包括膜厚测量、关键尺寸检测等。
- 长川科技：测试机和分选机为主营业务，新产品探针台即将推出，有望向CP测试拓展。
- 精测电子：作为面板检测龙头，已与三星供应商IT&T成立合资公司，进军半导体检测领域。