2024-04-28-上交所-江苏微导纳米科技股份有限公司2023年年报报告_241页_4mb

微导纳米（688147）2023年年度报告总结

核心内容概览

微导纳米是一家专注于半导体、泛半导体高端微纳装备研发、生产与销售的科技企业，主要产品包括原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）等真空薄膜沉积设备。公司致力于为客户提供尖端设备及配套服务，覆盖逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示、光伏电池等多个领域。

主要观点

• 业务发展迅速：2023年公司营业收入达16.79亿元，同比增长145.39%；净利润为2.70亿元，同比增长399.33%。
• 产品体系完善：公司产品涵盖ALD、CVD等多种真空薄膜沉积技术，已形成以ALD为核心、CVD为补充的产品矩阵。
• 市场占有率领先：ALD产品连续多年在国内同类企业中营收、订单总量和市场占有率居首，光伏领域设备也获得广泛认可。
• 技术实力雄厚：公司拥有自主研发能力，多项设备关键指标达到国际先进水平，多项设备被认定为国家重大装备。
• 研发投入持续：2023年研发投入达3.08亿元，占收入比例18.34%，其中约50%用于半导体领域。
• 供应链与制造能力提升：公司优化供应链体系，实施精益生产管理，新建研发生产基地，提升产品交付能力。
• 人才激励机制健全：公司实施股权激励计划，吸引并留住核心人才，提升研发团队实力。

关键信息

财务表现

• 营业收入：16.79亿元，同比增长145.39%。
• 净利润：2.70亿元，同比增长399.33%。
• 扣除非经常性损益的净利润：1.88亿元，同比增长849.89%。
• 经营活动现金流净额：9,333.01万元，同比减少44.61%。
• 研发投入占比：18.34%，较上年减少1.88个百分点。
• 总资产与净资产：分别增长至75.82亿元和23.44亿元，同比增长98.47%和19.45%。

利润分配预案

公司拟向全体股东每10股派发现金红利0.85元（含税），预计派发总额为3,856.04万元，以扣减回购股份后的总股本为基数。

产品与市场

• 半导体领域：

  • iTomic系列ALD设备已实现产业化应用，应用于高k栅氧层、MIM电容器绝缘层、TSV介质层等。
  • iTomic MW系列批量式ALD设备可处理25片12英寸晶圆，适用于存储芯片、Micro-OLED显示器、MEMS等。
  • iTomic Lite系列适用于多种晶圆尺寸，满足研发与量产需求。
  • iTomic PE系列等离子体增强沉积设备已进入试样验证阶段。
  • iTronix系列CVD设备已实现产业化应用，满足逻辑、存储、先进封装等需求。
  • Trancendor系列晶圆真空传输系统实现产业化应用，提升晶圆传输效率。

• 光伏领域：

  • KF系列批量式ALD系统应用于高效晶硅太阳能电池钝化，已实现产业化应用。
  • ZR系列管式PEALD/PECVD系统支持多种高效电池工艺，如TOPCon、XBC、HJT等，市场占有率快速提升。
  • XH系列高温低压系统实现PERC+和TOPCon电池的扩散、退火等工艺。
  • HY系列板式ALD系统应用于钙钛矿电池，已进入产业化验证阶段。

• 新兴应用领域：

  • iSparol系列卷对卷ALD系统实现柔性基材的高阻隔膜制备，已迭代至二代产品。
  • 公司已拓展至光学、柔性电子、车规级芯片等新兴领域，为客户提供定制化解决方案。

研发与创新

• 报告期内新增重点研发项目3项，新增专利申请146项，新增专利授权35项。
• 公司研发团队规模达429人，同比增长78.01%。
• 研发成果包括iTomic HiK系列ALD设备被认定为江苏省首台（套）重大装备，iTomic MW系列获“集成电路产业技术创新奖”。

行业地位

• 在半导体领域，公司是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于集成电路制造前道生产线的国产厂商。
• 在光伏领域，公司是率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，市场占有率领先。
• 公司在新型存储、硅基OLED、钙钛矿电池等领域取得显著进展，产品获得知名客户的认可。

行业趋势与前景

• 半导体薄膜沉积设备作为晶圆制造三大主设备之一，市场空间广阔，2023-2025年复合增长率达6.6%。
• ALD技术在先进制程（如45nm以下节点、3D结构）中具有显著优势，市场需求快速增长。
• 光伏行业在碳中和政策推动下持续发展，TOPCon、XBC等高效电池技术成为主流，带动薄膜沉积设备需求增长。

风险提示

• 公司已披露可能存在的风险因素，包括市场波动、技术更新、客户认证壁垒等。
• 无被控股股东非经营性占用资金、违反决策程序对外担保等事项。

公司治理

• 公司全体董事出席董事会会议。
• 天职国际会计师事务所出具了标准无保留意见的审计报告。
• 保荐机构为浙商证券，持续督导期间为2022年12月23日至2025年12月31日。

未来展望

公司将继续推进ALD与CVD等镀膜平台化战略，探索新兴应用领域，提升技术壁垒与市场竞争力，推动国产替代进程，把握半导体与光伏行业技术迭代带来的发展机遇。